【その他の掲載内容】 ■VMA-Lシリーズ(空圧作動/SS400/VF フランジ) ■VMA-L-10Kシリーズ(耐圧真空/空圧作動/SS400/10K フランジ) ■クランプ継手等 ■ICF フランジ ■ISO フランジ等 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空ポンプ

【仕様(抜粋)】 ■呼び排気速度 50/60Hz(m3/h)：70 ■試験到達圧力(Pa)：20 ■連続運転可能な吸気口圧力(kPa)：1以下 ■連続運転可能な吸気圧力までの時間(min)：30以内 ■排気制限(容積m3)：6以下 ※目安 ■電圧・周波数：AC200V～240V/50/60Hz、単相 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空ポンプ

【その他の特長】 ■省エネECO Mode実現 ■DCブラシレスモータ使用 ■マグネットカップリング構造 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 真空ポンプ

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• ターボ型ポンプ

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 換気・排気

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 換気・排気

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

【当社はこれらの真空排気システムを提案可能です】 ◎ターボ分子ポンプを使った真空排気システム ◎ドライ真空ポンプを使った真空排気システム ◎油回転真空ポンプを使った真空排気システム ◎液封式真空ポンプを使った真空排気システム ◎ルーツ真空ポンプを使った真空排気システム ◎エジェクタを使った真空排気システム ※当社製品について詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 換気・排気

【その他の掲載製品】 ■ドライ真空ポンプ ■油回転真空ポンプ ■液封式真空ポンプ ■エジェクタ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

【MS-3C100L ソフトウェア機能】 ■製膜ログ機能 ・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・ 　基板ホルダー回転速度の自動保存が可能 ■製膜レシピ機能 ・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・ 　スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開閉を設定可能 ・作成済みレシピの組み合わせが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• スパッタリング装置
• 真空機器

【納入事例】 ■主排気系「PRD25-60」 　・ルーツ真空ポンプ「RD2500」とスクリュー型ドライ真空ポンプの組み合わせ ■接ガス部はオイルフリーのため、吸入気体による油汚染とそれに伴う頻繁な油交換は不要 ■副排気系「PRM25-45」 　・ルーツ真空ポンプ「RD2500」と補助ポンプとして経済的で接着材材料の固着にも比較的強い 　油回転真空ポンプ「P450」の組み合わせ ■主排気系・副排気系ともルーツ真空ポンプ内部での固着を防ぐため、 　ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプのみで排気するバイパスラインを設置 ■排気システムに接着剤原料が入るのを防ぐために前段にトラップを設置 ■更にトラップで全ては取り切れず、ポンプ内部に吸引された接着剤原料を、毎回の運転後に 　ポンプ内部に溶剤を入れて洗浄 ■ポンプ内のシール材は溶剤に耐性のあるものに変更し、溶剤を注入、排出するポートを 　排気システム内に設置 ■設置場所が危険物製造所であるため、モータは耐圧防爆仕様（制御盤は防爆区域外に設置） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ
• 換気・排気

【納入事例】 ■主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプのため、排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能 ■カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計やスローリーク弁等の 　操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位のマニュアル操作を行うことが出来る ■グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く、カートを 　移動させながら定格運転を維持可能 ■シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えている ■お客様のニーズに合わせた好適な真空環境をつくるためには、様々な真空システム 　（排気ユニット・真空ポンプセット・真空装置）が必要となり、大阪真空はそれに応える 　幅広いラインアップの真空製品を提供 ■真空システムの設計、構成、製造において創業以来70年間に蓄積された技術力、経験と実績を有する ■高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの単品販売だけでなく、 　それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ
• 換気・排気

【オプション品】 ■油煙トラップエレメント ■オイルフィルター ■ポンプ油 ■ダストフィルター ■変換フランジ ■ドレン弁 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

今回は新型コロナウィルスの影響により、「VACUUM2020　真空展」はオンライン開催されます。事前登録は無料になっており、製品情報など様々な情報を閲覧することが出来ます。皆様のご参加を心よりお待ちしております。 【VACUUM2020真空展 出展情報】 2020年10月14日(水)～11月13日(金)　入場料：無料（登録制） URL：https://nikkan-fair.com/account/create

• ターボ型ポンプ

【ラインアップ】 ■VRD-4 ■VRD-8 ■VRD-16 ■VRD-24 ■VRD-30 ■VRD-48 ■VRD-65 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

【ラインアップ】 ■VRD-4 ■VRD-8 ■VRD-16 ■VRD-24 ■VRD-30 ■VRD-48 ■VRD-65 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ
• 換気・排気

【SEMICON Japan 2019 出展情報】 会 期 : 2019年12月11日 ～ 12月13日 会 場 : 東京ビッグサイト ブースNo.: 8219（前工程ゾーン ；南2ホール）

• その他加工機械
• 分析機器・装置
• その他ポンプ

【その他の特長】 ■多様な通信仕様：Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT ■国際規格適合：NRTL/SEMI-S2/CE ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ターボ型ポンプ

【特長】 ■取付姿勢自在 ■コンパクトサイズ ■省エネルギー ■急速起動 ■急速ベント停止が可能 ■大気突入に強い構造 ■高圧縮比 ■コントローラ一体型 ■安全規格適合　NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) 【標準セット】 ポンプ+コントローラ用コネクタ

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 　前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• その他ポンプ

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 　前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• その他ポンプ

【特徴】 ○省エネルギー、小型・軽量化を実現 ○省エネルギー対応 →到達圧力時消費電力：400W ○小型・軽量を実現 →設置面積：0.11m2（230×450mm） ○重量：60kg ○省ユーティリティ →冷却水量・バージガス量の削減 ○国際規格適合 ○用途に応じた製品仕様 →ER100D：軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適 →ER100DC：耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 真空ポンプ

●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

○ケミカル対応： 全クラスでケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスの排気に適しています。 ○ダストに強い構造： ポンプ内部へのダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 ○大気突入に強い構造： 不意の大気突入に強い堅牢設計です。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○グリス潤滑形で50～240OL/sまでラインナップ ○取付姿勢が全方位自在で、使用が簡単 ○メンテナンスフリー ○丈夫でコンパクトな設計で、かつ軽量 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○高圧縮ターボ分子ポンプTG70Fを搭載 ○卓上サイズの省スペース設計 ○研究設備の簡易排気装置に最適 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○簡単操作で高真空まで排気 ○キャスター付きで移動が簡単 ○外乱に強く、ポンプ運転中でもユニットの移動が可能 ○必要に応じてオプション機器の取り付けが可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○放射線に対する耐久性を高めています ○放射線環境下での運転を可能にしました ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気配管にも断熱材を採用。最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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• 真空ポンプ

【製品の特長】 ■ ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ ※弊社測定方法による ■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！ ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
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【製品の特長】 ○水素圧縮比60,000を達成 ○内部放出ガスを低減 ○単独で、超高真空領域に近い到達圧力が得られます

• その他ポンプ
• 真空機器
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【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
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【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
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• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
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• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○安全規格適合　NRTL/SEMI－S2/CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
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• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○大流量排気 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
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• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合　（NTRL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
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• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
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• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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