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大型含浸装置において含浸タンク内を大気圧から真空状態に繰り返し排気 するために使用される、大型ルーツ真空ポンプを主ポンプとした「真空排気 システム」を導入した事例をご紹介いたします。 本事例では、大型電動機用真空含浸装置において、13m3の容積を持つ 含浸タンク内を、7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気することが 求められました。 設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動。吸気口と排気口の間には弁体の自重によって 開閉する逃し弁を備えており、高圧側からのポンプ起動を可能にしています。 【特長】 ■設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動 ■吸気口と排気口の間には弁体の自重によって開閉する逃し弁を備えており、 高圧側からのポンプ起動が可能 ■電動機・真空スイッチ・電磁弁はすべて防爆仕様 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当カタログでは、当社で取り扱っている「真空バルブ・真空部品」について ご紹介しております。 圧縮空気によって開閉する自動バルブ「LCAVシリーズ」、全てSUS製を 採用している「LVシリーズ」など多種多様な製品を掲載。 それぞれの製品仕様や外形寸法図などを掲載しておりますので、 ぜひご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■MAH/PAHシリーズ(手動・空圧作動/SUS304L/KF・CF・ISO-R フランジ) ■LCVシリーズ(手動/SUS304/KF フランジ) ■LCAVシリーズ(空圧作動/SUS304/KF フランジ) ■LVシリーズ(手動/SUS304/VF フランジ) ■LAVシリーズ(空圧作動/SUS304/VF フランジ) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
『VM70F』は、70m3/hで200V単相を実現する直結型油回転真空ポンプです。 ポンプ本体起動スイッチまたはD-SUBによる起動可能。凝縮性ガスに 強い製品です。 冷却水工事不要で導入できます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■大排気速度で単相電源 ■リモート/ローカル起動対応 ■ガスバラスト常時間 ■空冷仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
『UD Series』は、ポンプ停止時の真空システムへの油逆流を防止する 直結型油回転真空ポンプです。 廃棄する凝縮性ガス(水蒸気など)の量によって調整可能。 機械部品を最小限に抑えることで容易且つ的確にメンテナンスと 修理を実現できます。 【特長】 ■ガスバラストバルブ ■吸気口・排気口それぞれに逆止弁を搭載 ■ロータ、ステータ部特殊熱処理 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
アメリカ・ニューヨーク州に拠点を持つ、Vergason Technology社の イオンプレーティング装置「CatArc 3036」に、当社ターボ分子ポンプが 搭載された実績を紹介いたします。 この装置は自動車、装飾、医療、機械および切削工具、スポーツ用品、および 多くの特殊用途を含むコーティング用途に好適な装置で、当社の高流量仕様・ 軽量・倒立取り付けが可能である「TGkine3800M-B」が採用されました。 当社では、高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの 単品販売だけでなく、それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能です。 【事例概要】 ■採用先：Vergason Technology社イオンプレーティング装置「CatArc 3036」 ■採用製品：ターボ分子ポンプ「TGkine3800M-B」 ■製品特長：高流量仕様・軽量・倒立取り付けが可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
当資料では「メカニカルブースタ排気システム」について ご紹介しております。 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組み合わせて使用することや、様々な 補助ポンプと組み合わせることで、適切な真空環境が提供されることなど を解説。 また、製品は特長や対応業界、系統図も掲載しております。写真付きで 関連製品もご紹介しておりますので、ぜひ、ご覧ください。 【掲載製品】 ■PRM/SRシリーズ ■PRLシリーズ ■PRDシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸受形とし、 メンテナンスフリー、オイルフリーで振動が極めて小さな排気が可能。 また吸気口フランジは銅ガスケットを使ったコンフラットタイプとし、 ガスケットからの軽ガスの透過や放出ガスを低減し、また高温での ベーキングを可能にしています。 【事例概要】 ■納入先：国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 関西光量子科学研究所(木津) ■納入製品：X線計測実験真空容器用高真空排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高機能フィルムの製造プラントにおいて有機溶剤を回収する真空蒸留工程に 「封液循環型(閉サイクル)液封式真空ポンプ」を納入した事例をご紹介いたします。 有機溶剤の温度を上げると変質の恐れがありますが、真空蒸留では、減圧することで 温度を上げずに有機溶剤を蒸発させ、回収することが可能になります。 また、今回のポンプと閉サイクル封液循環供給システムは、回収する有機溶剤の汚染を 防ぐため、接液部はステンレス素材、シール素材はフッ素ゴムまたはPTFEとしています。 【事例概要】 ■納入先：ポリオレフィン高機能フィルム製造プラント ■納入製品：封液循環型(閉サイクル)の液封式真空ポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社では、高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの 単品販売だけでなく、真空システムに組み込んだ状態での提案が可能です。 『ファインケミカルプラント向け真空排気システム』の提供も行っており、 幅広いラインアップの中から、用途や効率的なプロセスに応じた組み合わせを提案。 真空に関する様々な問題解決をサポートいたします。 【特長】 ■用途に合わせた真空製品を提案 ■省エネ対応、イニシャルコスト削減、コンパクト化のニーズに対応可能 ■化学、製薬、機械、鉄鋼、ガス、食品、重電など幅広い業界を対象に、 ご相談内容のヒアリングの後に現場に合わせた真空システムを提案 ■規制への迅速な対応に向けたグローバルサポートネットワークも構築 ★下記ダウンロードより当社の真空ポンプ・真空システムの ラインアップや用途をまとめた資料をご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ■ターボ分子ポンプ ■ターボ分子ポンプ真空システム ■油拡散真空ポンプ ■メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ) ■メカニカルブースタ排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、 それぞれのカソードにRF又はDC電圧を印加、または重畳して印加することも 可能です。 【事例概要】 ■納入先：地方独立行政法人大阪産業技術研究所様 ■納入製品：MS-3C100L型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
今回は製造能力をアップした設備の新設に際して、大型化した反応缶を 真空に引くために、より排気速度の大きい大型の真空排気システムが必要で あったため、当社で真空排気システムを製作し納入させていただきました。 接着剤製造工程で使われることから、接着剤材料が固着してポンプが止まる 可能性を考慮して、1系統が固着のために止まっても真空排気を継続できるように、 並列された2系統の排気システムで構成されています。 主排気系の「PRD25-60」はルーツ真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ） 「RD2500」とスクリュー型ドライ真空ポンプの組み合わせ。接ガス部は オイルフリーですので、吸入気体による油汚染とそれに伴う頻繁な油交換は不要。 副排気系の「PRM25-45」は、ルーツ真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ） 「RD2500」と補助ポンプとして経済的で接着材材料の固着にも比較的強い 油回転真空ポンプ「P450」の組み合わせです。 また、設置場所が危険物製造所であるため、モータは耐圧防爆仕様としています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、 排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能です。 カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計や スローリーク弁等の操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位の マニュアル操作を行うことが出来ます。 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く、 カートを移動させながら定格運転を維持することが出来ます。 シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、全機種空冷タイプ、冷却水不要で省エネ、低コストとなっており、 配管工事不要で手間が省けます。 【特長】 ■全機種空冷タイプ ■軽量・コンパクト・低振動 ■オイルフィルター標準搭載 ■ガスバラストバルブ(二/三段階調節) ■油煙トラップエレメント内蔵標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お客様の先端的な生産工程、分析、R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。 コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Bシリーズ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Rシリーズ ［新製品］ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG-Mシリーズ 姿勢自在形ターボ分子ポンプ：TG-Fシリーズ ドライ真空ポンプ：DSPシリーズ、ERシリーズ、FRシリーズ 直結型油回転真空ポンプ：VRDシリーズ、VSVシリーズ ［新製品］ ターボ分子ポンプ排気システム：STシリーズ など 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ (二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『VRDシリーズ』は、一般産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m3/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ(二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
株式会社大阪真空機器製作所では、ターボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-Fシリーズ」を 搭載した排気システムが採用されています。 また、医療用加速器向けの排気ユニットと同様設計の標準排気ユニット、 STシリーズもご好評を頂いています。 【特長(TG-Fシリーズ)】 ■外乱に強い ■小型で軽量 ■グリース潤滑玉軸受が長寿命 ■医療の現場で信頼性を高く評価されている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］ ■磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML ■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50 ■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。 また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合 NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ 新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展２０１５へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine３シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたします。 詳しくは、当社ＨＰにてご確認ください。（当社ＨＰのリンク） この機会に、是非当社ブースへお越しください。 コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。 ご用途に合わせて排気速度200L/s～5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。
○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。
コンパクト設計で、持ち運び自在のターボ分子ポンプ排気ユニットです。
ターボ分子ポンプ排気ユニットです。 ポンプの組み合わせ、オプション機器の追加などご要望に合わせてカスタマイズ品を製作可能！
放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ
反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
【イプロス初主催】AIを活用したリアル展示会！出展社募集中
