ブルーオーシャンテクノロジーの製品・サービス一覧

1.小型・軽量　W180×D210×H200mm　約3.5Kg　 2.主軸回転数　Max8000rpm　 3.ワーク寸法　１インチ・2インチ・50mm□　 4.ワーク固定　内蔵真空ポンプによる真空吸引　 5.ユーティリティー　AC１００V　2.0A コンセント

• コーター

【機能と特徴】 １）ロール外形寸法はφ110ｍｍとφ130ｍｍの2種類あります。 ２）ロール外周部はEPDMもしくはシリコーンゴムからなる 　　ストレッチリングで構成されています。 ３）このゴムリングには、接触する基材を外側へ伸ばす 　　ストレッチエレメントがあり、ロール回転によるストレッチ効果を 　　もたらします。 ４）ストレッチエレメントはロール外形によって30セットもしくは 　　36セットが各ストレッチリングに取り付けられており、 　　800ｍｍ幅のロールの場合、54セットのストレッチリングによって 　　構成されています。 ５）このストレッチロールは外付けの駆動装置を必要としません。 　　ウエブ基材の巻取りによる接触力だけでストレッチされます。 ６）ロール全巾に対してストレッチエレメントは完全に独立して作動し 　　中間域の不作動領域がありません。 ７）ロールへの推奨抱き角度が10°から180°と幅広く、また装置始動時の 　　ストレッチ効果の応答が早いです。 ８）対オゾン性機能付。

• プラスチック
• 複合材料
• 紙・パルプ

差別化された技術、厳格な品質管理と競争力のある価格で、 Linear Motion Systemのご提供を行っております。 国内メーカーと比べて短納期でご提供が可能です。 超小型ミニチュアタイプから一般的なボールタイプまで、幅広い内容のリニアモーションガイドを提供しています。低音リニアモーションガイドから超高剛性ローラーリニアモーションガイドまで、異なる形状、サイズなどの条件に応じて、それぞれに最適なリニアモーションガイドを選択頂けます。各種表面処理加工にも対応。クリーン仕様のご提案も可能です。 【特徴】 ・正確な位置決めが可能 ・長期間安定した精度維持が可能 ・隙間をなくし、高い剛性を維持 ・機器のコンパクト化、省エネを実現 ・短納期対応

• その他機械要素

１．機械サイズがコンパクトで軽量 ２．塗工液の粘度幅が広い　 　　　　1cps～100,000cps ３．膜厚範囲　1μ～1.5mmt ４．ロールtoロールタイプ、自動機など 　　　　カスタマイズ仕様に対応 ５．ストライプ塗工（最小塗工幅2mmまで） ６．ダイリップの自動洗浄ユニット ７．２層３層同時塗工ダイ製作可能 ８．Wet on Wet塗工が可能

• コーター

ウエハレベルCSP用／ TAB用／COF用など、広範な生産技術に対応。 ・面内均一性に優れ、50nm ～ 100μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能 ・塗布事例：薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング ・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【スピンレス塗布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工できるコータです。 高粘度液や厚膜などスピンコータでは難しい塗工が可能です。 【精密スプレー塗布装置】 多様な基板へのコーティングをスプレー方式で簡単に実現できます。 少ない材料で簡単にスプレーコーティングサンプルが製作できます。 凹凸基板、厚膜、有機材料など多彩なワーク、材料、プロセスに対応。

• コーター

【特徴】 ・短納期 ・小ロットでも対応可能です。 ・経験豊富な技術者によるトータルソリューション ・お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの　特注など柔軟に対応いたします。 【設備ラインナップ】 ・洗浄 　　ロールtoロール式洗浄 　　スピン洗浄 　　炭化水素洗浄 　　減圧乾燥 ・コーティング 　　スリットコーター 　　スピンコーター 　　ロールコーター 　　スプレーコーター ・表面処理 　　大気圧プラズマ処理 　　エキシマUV照射 　　UV硬化装置 ・ラミネート、貼合せ 　　ラミネーター 　　貼合せ装置 　　ホットプレス 　　真空プレス ・付帯設備・測定器材 　　非接触式膜厚計、光学顕微鏡、分光エリプソメーター、接触式段差計 　　SEM・EDX、接触角計、その他 ※その他の設備によるテストご希望が御座いましたら何なりとお問合せ下さい。

• コーター

レンタル専用スリットコーター！ 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：200mm□×0.4～1.1mmt 対象ワーク：ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター 【主要用途・実例】 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶

• コーター

【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター

• コーター

【装置特徴】 　フィルムサイズ：MAX400mm□ 　最大加圧力：平面プレス400kN・ロールプレス50kN 加熱温度：Max200℃ 　テスト機による実験対応可能です。 　詳細仕様は別途お問合せ下さい。 【主要用途・実例】 　ビルドアップ基板・部品内臓基板・フレキシブルプリント基板・燃料電池・セラミックグリーンシート・機能性多層フィルムなどの貼合わせ・成型 　燃料電池MEA製作・ガラス、フィルム基板貼合わせ・グリーンシートのラミネーション・エンプラの熱硬化成形 　基板への部品貼合わせ・熱転写成形などの試作・開発～量産工程に適用可能

• 真空成形機

FPDの大型化、高精細化、製造経費削減など ニーズによる新規ConceptのShaftの開発の必要性が急増しています。　より軽量に、より撓みをなくし振れを最小限にするブラシシャフトを製作しております。 ブラシシャフトの芯金の種類 １．CFRP＋SUS ２．CFRP＋PVC ３．CFRP Pipe ４．CFRP丸棒 製品特徴 1、製作対応サイズ　G10サイズまで納入実績あり 2、CFRP(24T/ 65T)芯金による軽量化を実現 3、樹脂チャンネルブラシによるメタルコンタミの発生を抑えた仕様 ※詳細は『資料請求』まで

• その他搬送機械
• その他洗浄機
• 軸

【装置特徴】 基板サイズ：MAX370×470mm 温度範囲：MAX200℃ ホットプレートGAP：0.3mm（プロキシタイプ） 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶

• コーター

【装置構成】 ・対象ワークかご寸法：W300×D300×H250mm（SUS製） ・対象バレルかご寸法：Φ250×D300mm（SUS製） ・対象ワーク重量：Max10kg ・洗浄工程 　１）本洗浄　　　　ー　減圧+超音波（600W 26kHz） ２）リンス洗浄　　ー　常圧+脱気＋超音波（600W 26kHz） ３）ベーパー洗浄　ー　減圧ベーパー 　４）乾燥　　　　　ー　真空自熱乾燥 ・タクトタイム：約5分（ワーク量により変化） ・安全対策 　１）モーターは安全増防爆仕様 　２）自動バルブは全てエアー駆動 　３）超音波振動子内エアーパージ 　４）オイルパン漏液センサー ・液保有量 　１）洗浄液（NS-100第2石油類） 　　　　減圧、リンス槽　65L×2槽=130L 　　　　蒸留機　　　　　　　　　　 90L バッファその他 60L 総液量　　 280L 　２）熱媒体油（第4石油類）　　　　 80L

• 加工受託

超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【主な用途】 ・ガラス、フィルムの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング

• コーター

【搬送コンベア】 　各種プロセス装置のローダー・アンローダー及び装置単体からライン 　までトータルサポート。MaxG10サイズまで製作可能。マグネットギア　による伝道部の非接触化、帯電防止ローラの採用、気流の最適化などに　よりクリーン環境を維持。 【ロボットシステム】 　設計から製造、ロボットティーチングの一貫生産で、製造現場の 　自動化・省力化を推進。お客さまの要望や現状をヒアリングし、 　製造ライン全体を最適化するトータルシステムをご提案。 【ロールtoロール搬送ライン】 　『幅広』『長尺』『極薄』フィルムなどの高精度な巻取り・搬送を 　実現！液晶フィルムや包装フィルム、高機能フィルムなど様々な製品に　対応した巻取り・搬送自動機をご提案致します。フィルム以外にも 　金属箔、用紙や新素材などにも対応可能ですので、ご相談ください。 お客様ニーズに合わせプロセス装置の巻出し・巻取り部を設計・製作 張力（1～100N）・低速、高速自動搬送が可能。 基材の傷・シワ・ダメージレスで搬送を行います。 端面支持搬送による両面洗浄プロセス処理が可能。

• タッチパネル
• コンベヤ

【装置ラインナップ】 　スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター 【コーターの特徴】　　 ・10mm□～G8基板サイズまで可能です。 ・薄膜から厚膜（1～500μm程度）まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです。 ・各種装置のテスト機にてご評価頂けます。 ・低粘度から高粘度（数cp～5,000cp）まで、塗布の均一を維持向上致します。 ・お客様の用途、環境に合わせて設計・製作致します。 【テスト対象基板、ワーク】 ・ガラス：10mm□～G6基板サイズ 　・ウエハ：2インチ～Φ300mm ・機能性フイルム：MAX400×500mm 　塗布材料、粘度 ・各種薬液：レジスト、インク、ペースト、樹脂系 ・粘度：数cp～5,000cp ・膜厚：1～500μm 【主要用途、実例】 ・大学、研究開発機関、産総研 ・半導体、液晶、有機ＥＬ、タッチパネル 　・機能性フィルム ・素材、材料開発 ・精密部品、光学部品 ・医薬品、化粧品研究用途

• コーター

【装置特徴】 対象基板：G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度：数cp～10000cp ・膜厚：1～100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース（クリーンルーム内に設置） ・スリットコーター　　400×500mm ・卓上スピンコーター　Φ500シリーズ　（インナーカップ方式対応可能） ・卓上スピンコーター　Φ300シリーズ ・ホットプレート ・膜厚測定器

• コーター

【実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】 ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能 【主な用途】 ・ガラス、フィルムの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング

• コーター

【レンタルのメリット】 ・装置導入が難しい ・既存の装置が故障した時 ・急遽、エキシマUV装置が必要になった ・保守、メンテナンス、固定資産税、管理コストを抑えたい ・新規装置導入可能：別途ご相談下さい 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】 ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能 【主な用途】 ・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング ・チップ、フィルム、基板接合面洗浄

• コーター

3槽式炭化水素洗浄機 【装置構成】 ・対象ワークかご寸法：W300×D300×H250mm（SUS製） ・対象バレルかご寸法：Φ250×D300mm（SUS製） ・対象ワーク重量：Max10kg ・洗浄工程 　１）本洗浄　　　　ー　減圧+超音波（600W 26kHz） ２）リンス洗浄　　ー　常圧+脱気＋超音波（600W 26kHz） ３）ベーパー洗浄　ー　減圧ベーパー 　４）乾燥　　　　　ー　真空自熱乾燥 ・タクトタイム：約5分（ワーク量により変化） ・安全対策 　１）モーターは安全増防爆仕様 　２）自動バルブは全てエアー駆動 　３）超音波振動子内エアーパージ 　４）オイルパン漏液センサー ・液保有量 　１）洗浄液（NS-100第2石油類） 　　　　減圧、リンス槽　65L×2槽=130L 　　　　蒸留機　　　　　　　　　　 90L バッファその他 60L 総液量　　 280L 　２）熱媒体油（第4石油類）　　　　 80L

• 加工受託

【装置概要】 ３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、 検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。 小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に 赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。 近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や 研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を 高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。 【装置特徴】 自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしており マニュアルでの検査が可能です。任意のスライスレベルを設定出来 ニーズに合った検査が可能です。用途によりソーマーク除去機能も 有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。 【装置アプリケーション】 ●パターン付きウエハークラック検査 ●ベアウエハークラック検査 ●ウエハーエッジダメージ検査 ●ＢＧ研磨痕の評価 ●スラリーの評価 ●ガラス基盤の応力残り ●ストレスレリーフの評価 ●ＢＧテープのテンション検査 ●化合物ウエハの歪みや傷検査

• 外観検査装置

内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般　

• 外観検査装置

【特徴】 お客様の技術・試作開発に全力でサポート致します。 コーティング・印刷・ラミネートの技術力・提案力・行動力を生かし お客様にとって安心・信頼できる ビジネスパートナーとなることを目指しております。 １．10mm□～G8基板の受託加工が可能です。 ２．お客様のニーズにお応えするために、共同開発や試作加工、小ロットの特注など柔軟に対応いたします。 ３．テスト装置の販売、レンタルも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【対象基板・ワーク】 ガラス：10mm□～G8サイズ ウエハ：Φ2インチ～Φ300mm 機能性フイルム：MAX400×500mm 光学レンズ・精密小型部品など 塗布材料・粘度 ・各種薬液：レジスト、インク、ペースト、樹脂系など ・粘度：数cp～10000cp ・膜厚：1～100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶

• コーター

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：MAX２００mm□基板（対角300mm以内） ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約50Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX２０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定

• コーター

【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】 ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能 【主な用途】 ・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング ・チップ、フィルム、基板接合面洗浄 【装置導入事例】 ・G8サイズTFT基板成膜前洗浄装置 ・ロールtoロール洗浄装置 ・レジストアッシング装置

• コーター

初心者でも正確な測定が可能です！ サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 　・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 　・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 　・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します 　・スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより 　　基板を移動させることがありません 　・一般にAFMに使用されているピエゾ素子を使用しておりませんので 　　非線形クリープ、経年変化はありません 　・ダメージレスで非破壊で測定可能 　・AFM用カーボンナノプローブ（高分解能・長寿命） 【ソフトアプリケーション】 　・微細線幅測定 　・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定 　・石英ガラス表面検査 　・マスクパターン測定 　・研磨、CMP後の表面検査評価 　・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定 　・ハードディスクの磁気フィールドの観察 　・フィルム表面検査 　・高精度金型の表面解析 　・光学部品、精密部品の評価

• 半導体検査/試験装置

お客様ニーズに合わせプロセス装置の巻出し・巻取り部を設計・製作 張力（1～100N）・低速、高速自動搬送が可能。 基材の傷・シワ・ダメージレスで搬送を行います。 端面支持搬送による両面洗浄プロセス処理が可能。 導入事例 機能性フィルム・有機ＥＬ・液晶デバイス・2次電池 対象基板 機能性フィルム・PEN・PETなど 装置導入事例 欠陥検査装置の巻出し・巻取りユニット 露光装置の巻出し・巻取りユニット 成膜装置の巻出し・巻取りユニット 印刷装置の巻出し・巻取りユニット

• タッチパネル

特徴 ・短納期 ・小ロットでも対応可能です。 ・経験豊富な技術者によるトータルソリューション ・塗布の均一性を追求した精密コーティング ・スピンコーターの貸出レンタルも行えますので、お客様の用途、環境に合わせてご提案いたします。 対象基板・ワーク ガラス：10mm□～200mm□・400×500mm ウエハ：Φ2インチ～Φ300mm 機能性フイルム：MAX400×500mm 光学レンズ・精密小型部品など 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度：数cp～10000cp ・膜厚：1～100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 各種設備装置 ・クリーンブース（クリーンルーム内に設置） ・スリットコーター ・卓上スピンコーター　Φ500シリーズ　（インナーカップ方式対応可能） ・卓上スピンコーター　Φ300シリーズ ・ホットプレート ・膜厚測定器

• コーター

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ10～15０mm□ 基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約22Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ３００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX９０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定

• コーター

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ4～２5０mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX６０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定

• コーター

防爆仕様・有機溶剤使用・精密部品・スマートフォン付帯部品の洗浄

• その他半導体製造装置

機能性フィルム・有機EL・LCD・半導体デバイス・スマートフォン向け精密部品など実績多数

• コーター

業界初！レンタル専用スピンコーター 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：250mm□・300mmウエハ 対象ワーク：ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間：15日間～1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ

• コーター

多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。

• コーター

半導体デバイス・MEMS・LCD・有機EL・タッチパネルなど 電子デバイス向けケミカルウェットステーションを100台以上納入。 デモ機・評価システム完備。

• その他半導体製造装置

・機能性フィルム、有機EL研究用フィルム改質装置 ・幅200～300mmのフィルムに対応 ・常圧プラズマ発生装置を中央に左右往復搬送が可能 ・ガイドフィルム挿入、または保護フィルム合わせ巻取りモードを選択 ・搬送速度0.1～1m/min（実際は4m/min達成)

• その他半導体製造装置

近年はラミネート機械だけではなく、スリッター＆カッティング機械、自動機械の製品化を成功して参りました。 設計より製造まで一貫生産してます。 いままで多数の加工機／生産機を製造しております。 ラミネ－トに限らずお客様のオーダーメイドなラインご相談もお受けしております。 またテスト加工等の機械も数十台取りそろえておりますので実験を繰り返しての機種や機能選定も可能です。 お気軽にご相談ください。

• その他半導体製造装置

低速搬送によるディップ処理で処理部をコンパクトにすることが可能。 純水使用量やフットプリントを大幅に低減できます。

• その他半導体製造装置

SHAFT及びROLLERを製作後又は、SHAFTとROLLERを組立後検査過程を 行い高品質のものをご提供いたします。 FPDの大型化、高精細化、製造経費削減など ニーズによる新規Conceptの Shaftの開発の必要性が急増しています。 より軽量に、より撓みをなくし振れを最小限にするシャフトを製作しております。 半導体分野、PDP、LCD 製造設備、化学設備、食品設備、精密機械産業、 プリント基板業界などによく使われております。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。

• 軸
• 食品搬送装置

低コスト・小ロット（1個）からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズまで製作可能な樹脂ベアリングです。 食品・自動車・電子産業への納入実績多数あり。 お気軽にお見積り・お問合せ下さい。 特殊環境用軸受、特殊環境条件でも軸受が使用できるように軸受の内輪外輪、保持器、転導体の素材をプラスチック・セラミックス、PEEK、フッ素樹脂等多様な特殊素材を複合して構成生産しています。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• その他機械要素
• 樹脂軸受・ベアリング
• 金属軸受・ベアリング

低コスト・小ロット（1個）からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズまで製作可能なPEEKベアリングです。 食品・自動車・電子産業への納入実績多数あり。 お気軽にお見積り・お問合せ下さい。 耐熱性、耐腐食性、自己潤滑性、耐放射線性、難煙性、機械的性質が優れた熱可塑性 の高機能プラスチック材料を使用して製作したベアリングです。 製品特徴 1.耐熱性が優れている(連続使用温度 200℃) 2.耐腐食性及び耐溶劑性が優れている 3.オイル及びグリスの供給がない状態でも自己潤滑性が優れており耐磨耗性が卓越している。 4.機械的性質が卓越する。(引張強度, 曲げ強度が優秀 ) 5.耐放射性が優れている 6.電気的性質が優れている 製品規格 深溝ボールベアリング、アンギュラ-コンタクトベアリング、トラストベアリング、 自動調芯ボール ベアリング ※詳細は『資料請求』まで

• その他機械要素

低コスト・小ロット（1個）からご注文賜ります。JIS規格から特殊サイズまで製作可能な樹脂ベアリングです。 食品・自動車・電子産業への納入実績多数あり。 お気軽にお見積り・お問合せ下さい。 耐腐食性、耐熱性、非磁性、軽量性、絶縁性などの特性を持つFineセラミック素材で製作されており、既存の鋼材(SUT2)ベアリングでは困難な特殊環境分野に適合します。 製品特徴 １．耐食性・・・強酸、アルカリ、海水中でも使用可能 ２．耐熱性・・・高温からも硬度、強度の変化がない。 ３．非磁性、絶縁性・・・磁界中でも使用可能で、電気発生を防止する。 ４．軽量性・・・一般ベアリングより軽い。 ５．高強性・・・硬度、縦弾性係数がベアリング鋼より高い。 ６．高速回転・・・転動体(ボール)が軽いので回転時、遠心力を減少させる 製品規格 深溝ボールベアリング、アンギュラ-コンタクトベアリング、トラストベアリング、 自動調芯ボール ベアリング ※詳細は『資料請求』まで

• その他機械要素

異方性NdFeB稀土粒の材料を利用して製造したマグネットで、製薬・飲食物・LCD・有機EL・半導体業界の製造工程の中で、特にクリーンな環境の中での搬送系の非接触型駆動ギアとして、ご使用頂いております。 局数、内径・外形、固定方法などにより、様々な種類をご用意しております。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• その他搬送機械
• 食品搬送装置
• シール・密封

FPDの大型化、高精細化、製造経費削減など ニーズによる新規ConceptのShaftの開発の必要性が急増しています。　より軽量に、より撓みをなくし振れを最小限にするシャフトを製作しております。 シャフトの種類 １．CFRP＋SUS ２．CFRP＋PVC ３．CFRP Pipe ４．CFRP丸棒 製品特徴 1、FPD大型化による軽量化実現 2、製作対応サイズ　G10サイズまで納入実績あり 3、CFRP(24T/ 65T) 4、他 Makerとは違いShaft全工程を自社製作 5、シャフトと搬送コロの組立品としても販売しております。 ※詳細は『資料請求』まで

• その他搬送機械
• その他洗浄機
• 軸