薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております

日常的に小型化、高性能化が進む世界。 携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 本資料では、薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております。 是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• 流量制御

耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈

当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、 トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。 長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。 技術研修や校正、修理メンテナンスなどのサービスも提供しています。 現在、バイオ・EPC・薄膜業界それぞれに適した機器や 特長・導入メリットなどを紹介した資料をまとめて進呈中です。 【資料ラインアップ】 ■流量・圧力計測機器＜バイオ医薬品・ライフサイエンス業界＞ ■面積式流量計＜EPC向けフローソリューション＞ ■気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞ ※各資料は「PDFダウンロード」からご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 流量計
• 圧力計
• コントローラ

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！

オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。

• 圧力制御

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント 　±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• 流量制御

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 流量計
• 流量制御

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、 　測定の再現性を向上　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 流量計
• 流量制御

2024年12月4日、新刊『ANAのカイゼン』を刊行いたしました。 「高い品質・サービス」と「高い生産性」を実現するために、非製造業であるANAが どのようにカイゼンを導入し、定着させていったか、どんな業種でも適用でき、会社に文化として しっかりと定着する「カイゼン方法」を事例を交えながら分かりやすく紹介しています。 「カイゼン導入で悩んでいる企業の方に推薦」する一冊です。 新刊『ANAのカイゼン』の発売を記念して、 会場（東京/品川）とオンラインのハイブリッド型で 2025年2月20日（木）に『研修プログラム説明会（参加無料）』を開催いたします！ 新刊の著者である川原洋一が講師として登壇し、非製造業であるANAがどのようにカイゼンを導入し、 定着をさせていったか事例を交えてご紹介いたします。 また、ヒューマンエラーが起こりにくい環境を整えるにはカイゼンが役立ちますが、 より社内の安全文化を醸成するためには「ヒューマンエラー対策研修」の実施が効果的です。 プログラムの概要や特長の説明に加え、演習を一部体験いただけます。 研修を検討の方はぜひお気軽にご参加ください。

◎中小企業経営強化税制とは？ 中小企業者が、中小企業等経営強化法の認定を受けた経営力向上計画に基づいて新たな設備を取得し、指定された事業にそれを利用すると、即時償却、または取得価額の10％の税額控除という優遇が受けられる税制です。 【適用期限】令和7年3月31日までに取得した製品 当社製品も本税制の対象となるものがございます。 是非、この機会に本税制優遇をご活用いただき、設備投資をご検討ください。

【受託発送業様向け】 〇宛名検査装置 封筒やハガキの宛名部分を文字認識させ、連番検査やマスターデータとの照合、消込みと同時に画像ログを残します。 郵送物の発送業務を受託する場合、個人情報やプライバシーに関わる情報を取り扱うため、発送前の検査は必要不可欠です。 オフライン検査以外に、圧着ハガキ作成機や封入封緘機と連動したインライン検査も可能です。 その他機器への組み込みにも柔軟に対応可能！ 【製造業・物流業様向け】 〇商品照合検査装置 梱包前にピッキングしてきた商品間違いを防ぐことができます。 ピッキングリストのバーコードを読み取り、ピッキングしてきた商品を撮影し照合を行います。 【印刷業様向け】 〇印面検査装置 印刷物をカメラで読取り、PDFデータと照合。印字不良・印字欠陥・汚れなどを検知します。 ご紹介してる機器は一例となります。 搬送機器、給紙装置開発、ロボット連携、他社機との接続対応などお客様に合わせたカスタマイズも可能です。 その他外観検査や文字認識、ラベル検査など、様々なお困りごとございましたら新規開発も賜ります。 詳しくはお気軽にご相談ください。

製造現場における納品書や入出庫伝票のバーコードを自動で読み取り、PCへ情報を転送します。 さらに読み取り後の伝票仕分け作業も自動で行えます。 ハンディスキャナで1枚ずつ読み取り、手作業で仕分けを行っていませんか？ 製造業で多くの実績がある、伝票読取り機（SRシリーズ）、伝票仕分け機（RS-80） の導入事例集を公開中ですので、是非ともご覧ください！

◆伝票発行時の断裁作業 印刷→断裁→並べ替え作業 ミシン目入り用紙の購入不要、断裁しながらミシン目入ります！ ◆伝票読取作業 伝票に印刷された、バーコード、QRコードを読取り、素早くデータ化。 製造現場における現品票や納品書、かんばん、入出庫伝票などの読取に活躍しています。 ◆伝票仕分け作業 シートリーダーと連携、バーコードやQRコードなどが印字されている大量の用紙を高速で仕分けることが可能です。 製造業の課題解決の一つとして是非ご検討ください。 動画で詳しくご紹介しておりますので、是非ご覧ください。