薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております

日常的に小型化、高性能化が進む世界。 携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 本資料では、薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております。 是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• 流量制御

耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈

当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、 トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。 長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。 技術研修や校正、修理メンテナンスなどのサービスも提供しています。 現在、バイオ・EPC・薄膜業界それぞれに適した機器や 特長・導入メリットなどを紹介した資料をまとめて進呈中です。 【資料ラインアップ】 ■流量・圧力計測機器＜バイオ医薬品・ライフサイエンス業界＞ ■面積式流量計＜EPC向けフローソリューション＞ ■気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞ ※各資料は「PDFダウンロード」からご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 流量計
• 圧力計
• コントローラ

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！

オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。

• 圧力制御

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント 　±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• 流量制御

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 流量計
• 流量制御

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、 　測定の再現性を向上　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 流量計
• 流量制御

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。

『データで拓く未来の医薬品製造DX　開発から商業生産まで広域なエコシステムで支援』 をテーマに、様々なソフトウェアやシステムソリューション、および計測機器、電磁弁など最新技術をご紹介します。 ● ワンクリック技術移転 ● AI搭載 生産スケジューラ ● PATを実現する制御システム ●マスターバッチを迅速に構築可能なMES ● ワイヤレスセンサーなどデジタルフィールド機器 日時︓2026年5月20日(水)～5月22日(金)　10:00～17:00 場所︓幕張メッセ　 アクセス情報　 https://www.interphex.jp/tokyo/ja-jp/visit/access.html ブースNo.　22-15 入場は無料です。来場者バッジをご登録いただくとスムーズにご入場いただけます。下記のリンクから、 必要事項をご入力いただき来場者用バッジを発行してください。

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。

【設計の哲学】「作れる形」だけで妥協していませんか？ 現代の製造業において「効率化」は至上の命題です。しかし、最短時間でのデータ作成を追求するあまり、本来あるべき「意匠の尊厳」まで切り捨ててはいないでしょうか。 自由な曲面を追求しようとしてCADに拒絶され、渋々直線の組み合わせで妥協する……そんな経験をお持ちの方も多いはずです。本来、設計とはCADのコマンドで描きやすい形状を作ることではなく、エンジニアが込めた「思想」そのものを具現化することにあります。 今回の技術コラムでは、私たちが長年磨き続けてきた「GSM（Global Shape Modeling）」の思想を軸に、設計者が失いかけていた「意匠の主権」を取り戻すための考え方を解説しました。 「道具に支配される設計」から脱却し、創造性を制限しない新しい設計のあり方を模索されている方は、ぜひご一読ください。 ▼記事の全文はこちらから https://zenn.dev/t3japan/articles/16cd23736d2868