☆★☆【nanoETCH】ソフトエッチング装置☆★☆
テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
<30W低出力制御によるダメージレスエッチング
出力制御精度10mWで、繊細なエッチング処理を実現。
2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いる マンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。
【特徴】
• 2D(遷移金属カルゴゲナイド, 材料転写後のグラフェン剥離):表面改質クリーニング
• PMMA, PPA等のポリマーレジスト除去
• テフロン基板などのダメージを受けやすい基板での表面改質、エッチング
• h-BNサイドウオールエッチング(*『フッ化ガス供給モジュール』オプション, SF6ガス系統要)
• SiO2エッチング(*『フッ化ガス供給モジュール』オプション, CHF3ガス系統要)
仕様】
◉ 対応基板:〜Φ6inch
◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動シーケンス
◉ APC自動圧力コントロール
◉ Arガス1系統(標準) + N2, O2 最大3系統まで増設
◉ USB端子付 Windows PCに接続し、自動エッチングレシピ作成・保存。PCでデータロギング
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関連資料
関連リンク
◉ グラフェン・TMDC 2Dアプリケーション
◉ グラフェンエッチング除去
◉ PPA・PPMA等のレジスト除去
◉ テフロン基板などのダメージレスエッチング
グラフェン, レジストパターンのエッチング
PPAエッチング除去
h-BNエッチング