【測定事例】ウエハの厚さを上下から非接触測定|分光共焦点変位センサ SCI04025
ウエハの微小な厚さ変化を、非接触で捉える。
SinceVisionの分光共焦点変位センサ「SCI04025」を用いた、半導体ウエハの厚さ測定事例をご紹介します。
■上下2台のセンサで厚さを測定
ウエハの上側と下側にセンサを対向配置し、両面の測定データから厚さを算出。測定対象に触れずに厚さを確認できます。
■移動中の測定を評価
ウエハ上の2点を対象に、ステージを移動させて自動測定を模擬。動的な条件で厚さの変化と測定の繰り返し性を確認しました。
■10回の動的測定で、最大変動幅0.6μm
本事例では、厚さ測定値の最大値と最小値の差が最大0.6μmとなりました。ウエハの厚さ管理に向けた評価結果をご紹介しています。
※数値は本事例の評価条件に基づく結果であり、センサ単体の分解能や測定精度を示すものではありません。
詳細は関連リンクをご覧いただくか、お問い合わせください。

このニュースへのお問い合わせ
Webからお問い合わせ



