平面度0.001mm以下の精度を実現(φ12インチの場合)
弊社(株式会社ティ・ディ・シー)は、各種素材に対する超精密鏡面研磨加工、その他精密機械加工全般を得意とします。 材質、サイズ、加工精度、その他製品仕様についてお客様のご要望にお応えいたします。お気軽にお問い合わせください。 その他弊社加工内容、実績についてはホームページをご参照ください( http://www.mirror-polish.com/ )。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
1.ウエハ吸着用テーブルや測定用ステージの新規作成 2.使用中のステージの磨耗修正 φ12インチサイズで平面度0.001mmが実現可能です。 材質はSUS、セラミック、ガラスなどをはじめ、チタン、モリブデンの特殊材での製作も承っております。 ご相談に応じてメッキや蒸着などの表面処理も対応可能です。
価格情報
-
納期
用途/実績例
精密測定器ステージ 真空吸着テーブル CMP装置用研磨テーブル その他 治具、Vブロックなど
この製品に関するニュース(2)
企業情報
特に得意としている超精密鏡面加工は最大サイズが片面機でφ1500まで対応が可能です。 精密ステージ・吸着盤などの平面度・平行度・面粗さ向上が得意です。φ300*10t程度のサイズの吸着盤ですと、平面度0.001・平行度0.001、Ra0.01以下(SUS材)を製作しています。 φ100*5t(材質SUS・Ni・Ti・Mo・Ta・W・セラミックス・Si等)では平面度0.001以下、Ra0.001前後の精度のプレートを製作することが可能です、超高精度な治具や金型としてご使用いただいております。 ◆元気なモノ作り中小企業300社2007に選ばれました。◆ ◆2014年経済産業省「グローバルニッチトップ企業100選」に選ばれました◆2018年経済産業省「地域未来牽引企業」に選ばれました。