お手持ちのドライポンプの消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。※使用の可否はお問い合わせ下さい。【アルバック/ULVAC】
■ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。 特に多段ルーツ型ポンプで効果があります。 その他形式のポンプに関してはお問い合わせ下さい。 ■全圧力領域において排気速度の低下がありません。 ■設置が簡単です
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基本情報
ECO-SHOCKは、現在ご使用になられているドライポンプに、取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減(当社比最大80%)することが可能な、画期的なアタッチメントです。
価格情報
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納期
用途/実績例
●空気、窒素、アルゴン等の不活性ガス排気に使用しているドライポンプ。 ●PVD、ロードロックに使用しているドライポンプ。 ●低負荷運転で継続使用する分析などに使用しているドライポンプ。
企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。