貴社検査工程の標準化・自動化にお役立て下さい！
Siウエーハだけでなく、従来難しかったサファイア等の透明基板に発生する微小欠陥（異物・キズ等）を検出できます。 従来肉眼でバラツキが多かった検査工程を自動化・標準化できます。
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基本情報
（外観検査対象 具体例） シリコン・化合物ウエーハ、サファイア・石英ガラス等の各種基板 （検査項目 具体例） □ マイクロクラック（表裏面・エッジ） □ チッピング、スクラッチ、ピット等の傷 □ 異物・パターンずれ 等 （主な特徴） 1、上下にカメラ搭載・ダブルアーム機能で高速スループットを実現。 2、良品・不良品の自動判別機能。 3、反りのあるウエーハでも測定可能。 4、要求仕様に合わせて、オーダーメードでシステム化致します。 □研究・量産の双方に対応可能。 ※対象ワーク等を準備して頂ければ、サンプル画像を撮影致します。
価格帯
納期
用途／実績例
（用途・実績） シリコン・化合物ウエーハ、サファイア・石英ガラス等の各種基板 （適用プロセス例） □エッチング後のめっき表面の検査 □ダイシング後のチップ外観検査（パターン面の傷等） □出荷前検査・受入検査 等
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| W-EID | ウエーハ表裏面用装置 |
| E-AID | ウエーハエッジ端面用装置 |
カタログ（1）
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企業情報
大日商事株式会社は1959年（昭和34年）輸入商社として創業以来、 電子（半導体・液晶）業界向けに、温度センサー、プラスチック製品、 消耗部材、装置等の商品を提供してまいりました。 1997年にはプラスチック成形工場を山形県米沢市に立ち上げ、商社機能と メーカー機能を合わせ持った企業形態を確立しました。 その根底には、お客様の要望や課題解決にスピーディーに応えたいという 私たちの「チャレンジ精神」、そして「ものづくりへのこだわり」があります。 技術革新の激しい電子業界で生き抜くため、常に市場の要請を先取りし、 優れた技術と質の高い製品を提供するために地道に且つ、ひたむきに努力し、 社会から信頼される企業を目指してまいります。