様々なタイプの蒸着源をご用意しております
小面積用蒸着源、イオンアシスト小面積用蒸着源、大面積用蒸着源、3源蒸着源、原子状水素源、蒸着源用電源、大面積用蒸着電源、各種蒸着器用ルツボなどをラインナップ。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【ラインナップ】 ○小面積用蒸着源 EFM2 →蒸着面積：φ5～φ20mm →温度領域：160～3300℃ ○小面積用蒸着源 EFM3 →蒸着面積：φ5～φ20mm →温度領域：160～3300℃ ○イオンアシスト小面積用蒸着源 EFM3i →蒸着面積：φ5～φ20mm →温度領域：160～3300℃ ○大面積用蒸着源 EFM4 →蒸着面積：φ10～φ50mm →温度領域：160～3300℃ ○3源蒸着源 Triple-EFM →蒸着面積：φ8.5、11、15mm →動作距離：約93±10mm ○大面積用蒸着源 EFM6 →蒸着面積：φ50mm以上 →坩堝容量：最大10ccm ○原子状水素源 EFM-H →加速電圧：0-1keV(100mA) →ビーム照射角：±6～±15°（電力に依存） ○蒸着源用電源 EVC100L/100 ○蒸着源用電源 EVC300/300i ○大面積用蒸着電源 EVC1200 ○各種蒸着器用ルツボ →ルツボ材質：タングステン、タンタルなど他 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
2015年5月28日に、VG Scienta社とOmicron NanoTechnology社が合併し、新たにScienta Omicron社としてスタートすることとなりました。シエンタ オミクロン株式会社は、日本の研究開発分野で本格的な貢献をする目的で、日本総代理店として設立いたしました。 VG Scienta社は、光電子分光の黎明期からその重要性に着目し、世界のトップブランドとして、多くの関連装置を開発し、市場に導入してきました。 Omicron NanoTechnology社は、超高真空技術を駆使した走査型トンネル顕微鏡（STM）、原子間力顕微鏡（AFM）、X線光電子分光分析装置（XPS）など、卓越した製品群を通じて最先端技術を市場に提供し続けてきました。 今後は、最先端の評価技術関連装置を提供することばかりでなく、充実したサービス、テクニカルサポートを提供することで、日本の科学と産業の発展に貢献することを使命としています。 私たちの評価技術にどうぞご期待ください。
