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MiniLab-026

最終更新日:2026年08月29日

テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成

モジュラー式コンポーネント・制御機器の装置設計により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ(最大3元)もしくは抵抗加熱蒸着(金属 最大4、有機 x4)、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます(*要仕様協議)。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ 最大基板サイズ:Φ6inch ◉ 抵抗加熱蒸着源フィラメント、ルツボ、ボート式(最大4元) ◉ 有機蒸着ソース:1cc or 5cc ◉ Φ2inchマグネトロンカソード(最大3元) ◉ ドライエッチング ◉ グローブボックス搭載可能(オプション 要仕様協議) ◉ その他オプション: 2元同時成膜、HiPIMS、デポレート・膜厚自動制御、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。

    スパッタリング装置アニール炉蒸着装置
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□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

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  • テルモセラ・ジャパン_MiniLab薄膜実験装置掲載ページ
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/thermocera/product/

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基本情報

MiniLab-026は、シリーズ最小の26L容積チャンバを使用した小型薄膜実験装置です。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ(MiniLab-026):590(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパネル。熟練度を問わない簡単操作、且つ安全に最大限配慮しております。 【主仕様】 ◉ チャンバ:SUS304製 クラムシェル式 ◉ 19inchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源(最大4元)、有機蒸着源(最大4元)、又はΦ2"マグネトロン(最大3元)、基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ(ドライポンプオプション) ◉ グローブボックス連結仕様(*要仕様協議) ◉ 豊富なオプション:基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc.. *その他のMiniLabシリーズ詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。

価格帯

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納期

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用途/実績例

・電子部品 ・光学膜 ・反射防止膜 ・有機トランジスタ、有機EL

詳細情報

  • Helical-Coil-Filament.jpg

    Helical Coil Filament Model. MiniLab-LT26Aチャンバー内レイアウト *写真は3極式。予備ポートを多数備えたベースチャンバで、配置変更/増設を容易に行う事ができます。

  • TE4_thermal-source_basket-type.jpg

    Basket type thermal source MiniLab-LT26A抵抗加熱蒸着装置用 バスケットタイプx4極式

  • LTE-source.jpg

    有機材料蒸着源セル LTES-1cc or 5cc Organic source cell for MiniLab series 容易に材料補充時のルツボ着脱作業が可能 アルミナ or 石英ルツボ 温度制御範囲80〜600℃ UHV対応 専用コントローラ LTEC-1S(1ch), LTEC-4S(4ch)にて高精度PID自動膜厚ループコントロールが可能(±0.1Å/sec)

  • T26M_Glovebox-system-installed.jpg

    LT26A_Glovebox-system-installed-1 LT26A_Glovebox-system-installed-1

  • T26M_Glovebox-system-installed2.jpg

    LT26A_Glovebox-system-installed-2 LT26A_Glovebox-system-installed-2

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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

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【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置

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【nanoPVD-S10A】RF/DCマグネトロンスパッタリング装置

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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

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【nanoCVD-8G】グラフェン合成装置

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ウエハースケール グラフェン合成装置【nanoCVD-WGP】

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【Nanofurnace】Model. BWS-NANO 熱CVD装置

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スパッタ・蒸着ソース混在 複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

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多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S070】

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【MiniLab】 蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム

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◆nanoANNEAL◆ ウエハーアニール装置

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★nano BenchTopシリーズ 薄膜実験装置★

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◆HTEヒーター/OLED有機蒸着・高温金属蒸着セル◆ Max1500℃

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【マグネトロンスパッタリングカソード】

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薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2025」

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実験炉・ヒーター_「PRODUCTS GUIDE_2025」

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Mini-BENCH-prism セミオート式 超高温実験炉 Max2000℃

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【MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉】Max2000℃

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【Mini-BENCH 】超高温卓上型実験炉 Max2000℃

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VOXIA series X線CT撮影装置

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BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃

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【SH 高温 基板加熱ヒーター】(Inc/BNプレート Max1100℃)PVD CVD 真空薄膜用 高温 プレートヒーター

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ホットステージ【基板加熱機構】超高温基板加熱ヒーター

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

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【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

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【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

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この製品に関するニュース(49)

【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー画像

■□【PyroMini】(パイロミニ)□■ 小型高性能赤外線温度センサー

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高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能 【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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PyroNFC スマートホン設定式赤外線放射温度センサー画像

★【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー★

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温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。 ● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力 【その他仕様】 ◉ 視野角:15:1 ◉ 温度範囲:0℃〜1000℃ ◉ 測定波長領域:8〜14μm ◉ 放射率: 0.2〜1.0 ◉ 電源:24VDC(最小6V/10V〜最大28VDC) ◉ ケーブル:1m付属(最長30m延長可能) 【オプション】 ◉ 本体固定金具 ◉ 延長ケーブル ◉ エアパージキット

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■□【PyroCouple】□■ 小型非接触式赤外線温度センサー

  • 製品ニュース

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65 【その他仕様】 ◉ 視野角:2:1, もしくは15:1 ◉ 温度範囲: ・LT(-20℃〜100℃) ・MT(0〜250℃) ・HT(0〜500℃) ◉ 測定波長領域:8〜14μm ◉ 放射率:0.95(固定) ◉ 電源:24VDC ◉ 本体寸法:Φ18mm(径) x 103mm(長さ) ◉ 重量:約95g ◉ ケーブル1m(標準付属):延長最長3m(オプション)

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PyroUSB高精度赤外線温度センサー画像

■□【PyroUSB】□■ USB接続式 高精度赤外線温度センサー

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【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に最適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 幅広い用途に 波長8-14um 【その他仕様】 ◉ 視野角:15:1, 25:1, 30:1, 又は75:1 ◉ 放射率設定範囲:0.1〜1.0 ◉ 電源:24VDC ◉ 本体寸法:Φ27.6mm(径) x 61mm(長さ) ◉ 重量:約155g ◉ アナログ信号ケーブル1m(標準付属、延長最長30mまで) *USBケーブル1.8m(USBケーブルは延長不可)

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テルモセラ・ジャパン株式会社

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【Endless possibility_thermal engineering...】 当社は半導体・電子機器基礎研究用真空薄膜装置、CVD基板加熱用超高温ヒーター、実験炉、温度計測機器などを販売しております。 いつの時代でも欠かす事のできない「熱」に対する尽きぬ需要、基礎技術開発分野での様々なご要求にお応えすべく、最新の機器を紹介し、日本の研究開発に貢献してまいりたいと考えます。

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スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】
テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
スパッタ/EB複合蒸着 デュアルチャンバー装置
製造・加工機械
スパッタ/EB複合蒸着 デュアルチャンバー装置
テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
島津 ダイナミック硬度計
素材・材料
島津 ダイナミック硬度計
丸文通商株式会社  支店/金沢・富山・福井・松本・長野  営業所/新潟・甲府 SO/静岡・名古屋

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