均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる ○N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行 【仕様】 ○対象ワーク：7"□、φ8"等 ○外形寸法：W1500×D1500×H1700 ○回転部 →インナーカップ アルミ、アルマイト処理 →外形φ300 密閉回転式 →スピンモーター ACサーボモーター5.5KW →回転数 MAX3000rpm ○インナーカップ蓋 →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム →ステッピングモーター駆動 →ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。