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セルテスDLC

最終更新日:2022年12月16日

ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
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PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングです。

半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜(~ 5μm)が可能なため、抜群の耐久性を示します。また超硬合金だけでなく、工具鋼上でも下地強化層の採用により高い面圧に対応できます。DLC コーティングは表面が非常に平滑で硬く摩擦係数が低いため、はんだめっきやアルミ等の軟質金属の凝着を起こしません。このため金型に付着したはんだくずによる不良を飛躍的に低減し、クリーニング頻度の低減により生産性を飛躍的に向上できます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

    その他半導体製造装置
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半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティング

seihin02.jpg
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【特長】 ○はんだ凝着防止 ○膜厚・耐久性アップ ○密着力アップ ○脱膜再コーティング可能 ○環境負荷低減(RoHS 適合) ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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特殊スパッタリングおよびプラズマCVDプロセスの採用により、180度以下の低温処理でも密着力にすぐれ、なおかつ高膜厚精度で、耐摩耗・耐焼付性・低摩擦係数などすぐれたトライボロジー特性を持つコーティングを豊富な実績と経験に基づいて高品質、短納期にて請け負います。特にCrめっき代替のCrN系コーティング(セルテスX,N)、高面圧下でも優れた密着性を有するセルテスDLCなどセルテスブランドのコーティングがプラスチック成型金型・プレス金型・自動車部品・高精度摺動部品で高い評価を受けています。また表面清浄度測定器コロナサーフなど各種金属表面や薄膜の特性評価・不良解析もおこなっています。

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