半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応
光学式アライナ SAL38C2/SAL3361シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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【特徴】 ○半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 ○シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め ○クリーン対応:スピンドル側に0.1μmのフィルタ装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を実現 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「JEL製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。