500℃温度サイクル用 薄膜ストレス測定装置 FLX-2320-S
室温から500℃までの温度範囲で 非接触・非破壊にて薄膜ストレスを 正確に測定することが可能な測定装置 【特徴】 ○膜付けされた薄膜によって生じる基板の曲率半径の変化量を算出 曲率半径は、基板上を走査するレーザーの反射角度から計算されるため 膜付けの前後で曲率半径を測定し、その差を算出することにより 曲率半径の変化量（R）を求める ○測定チャンバー内の温度を自由に設定できるため 実際のプロセスおよびIC動作時の環境下での薄膜特性を より正確に把握することが可能 ○ガラス基板測定用オプションもご用意 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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基本情報
室温から500℃までの温度範囲で 非接触・非破壊にて薄膜ストレスを 正確に測定することが可能な測定装置 【特徴】 ○膜付けされた薄膜によって生じる基板の曲率半径の変化量を算出 曲率半径は、基板上を走査するレーザーの反射角度から計算されるため 膜付けの前後で曲率半径を測定し、その差を算出することにより 曲率半径の変化量（R）を求める ○測定チャンバー内の温度を自由に設定できるため 実際のプロセスおよびIC動作時の環境下での薄膜特性を より正確に把握することが可能 ○ガラス基板測定用オプションもご用意 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ○半導体
企業情報
ヤマト科学グループは、「研究開発・生産技術の"革新"を支援し、人類に幸福をもたらす科学技術の進歩・発展に貢献する」ことを経営理念とし、その理念の下で事業活動を展開することで、信頼の「Yamatoブランド」の形成に努めてまいりました。 私たちヤマト科学グループの役員及び従業員は、1889年の創業以来培ってきた信頼の「Yamatoブランド」に責任と誇りを持ちながら科学技術創造立国を標榜する我が国の、各企業や国公私立の研究機関・大学における、先端的な研究開発及び生産技術の革新をサポートするため、その社会的責任と公共的使命を自覚し、本「企業行動指針」にもとづいた行動を実践することで、お客様から一層の信頼、評価を得る事を目指してまいります。
