スピン＆スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。
WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサーは、基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○スピン＆スプレー併用により高精度で均一なプロセスを実現 ○ダブルハンドロボットによる搬送 ○現像/エッチング/乾燥等のプロセスを並列処理 ○カップ洗浄機能付 ○N2ブローと高速スピン回転により短時間での乾燥を実現 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
プラズマ・真空関連装置を中心に、洗浄装置、マテハン他、多分野において、多種多様なニーズに対応します。自社製品以外でも、OEM等、装置製造受託もフレキシブルに対応します。 プラズマ処理については、電子、医療他の多分野において、他企業や大学との共同研究開発を実施。受託処理のみも受付中。 設計等メーカーポジションを活かし、工場内の設備保守委託や装置メーカー様からの保守メンテナンス委託、既存設備の移設、中古設備リファブまで、自他社製問わず各種装置の保守メンテナンスをお請けします。
