樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！
新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。 【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm） ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高密着力が得られる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○最大基板寸法 W180×L340×D150mm ○基板材質 PC, PET, PP, PE 等 ○スパッタレート：10nm/sec ○排気速度 0.1paまで30sec ○排気系 RP＋TMP ○生産サイクルタイム：基板投入から成膜、重合、取り出しまで約80sec以下 ○反射率：85％以上、KOH １％ 10min ○SP室＋重合室 2室構成 ○スパッタ室：高使用効率型カソード （ターゲットサイズ440×240mm）、30kW DC電源 ○重合室：グロー放電式重合電極×1 750W RF電源 ○スパッタ材料：Al等 ○重合ガス：HMDSO(SiOx用）等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○自動車ヘッドランプリフレクター ○ミラー ○金属装飾膜 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード![[樹脂基板に早く自動でスパッタしたいお客様へ] SPP-SERIES](https://image.mono.ipros.com/public/catalog/image/01/d8b/315466/IPROS31546717943595364817.jpeg?w=120&h=170)
企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。