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シャッター

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最終更新日:2020年09月11日

入江工研株式会社
入江工研株式会社
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ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプを用意しています。

    CVD装置スパッタリング装置その他半導体製造装置
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シャッター

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シャッター.jpg
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ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用 超高真空領域まで使用可能 バタフライ式でなおかつシャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲 回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能 両端コンフラットフランジ(両刃)のため、配管途中に取り付け可能

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高真空領域まで使用可能です

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入江工研株式会社

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真空ベローズの入江工研   「高次元で気密する、伸縮の達人」   The master of expansion and contraction     at a higher level of airtightness

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