コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 180° ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず 185mm×239mm×179mm ○重量 11kg ○最大出力 10kW 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○2面位置決め構造の採用 →メンテナンス時に着脱する部品はすべて2面位置決め構造 ○高いメンテナンス性 →フィラメント交換、エミッタの脱着が容易な構造 ○高信頼性 →装置メーカーとして蓄積した事例を設計にフィードバック ○新エミッタ構造の採用 →部品点数を従来比60%に削減し、組み立てが容易 ○180°ビーム偏向方式を採用 →ビーム軌道短縮によりビーム安定性が向上 ○高速スイープ特性 →高速スイープと垂直入射の機能を備え、酸化物・化合物の蒸着に最適 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○電子ビーム蒸着用蒸発源 ○イオンプレーティング用蒸発源 ○蒸着ロールコータ用蒸発源 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。