装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送！
ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。 全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。 ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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【工程】 ○Centering ○loader ○Etching+Rinse ○Etching+Rinse ○Mega+Rinse ○Rinse+N2 ○unloader ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。