装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し基盤搬送！
『自動基板用現像装置』は、枚葉式の基板自動現像装置です。 現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。 また現像方式はスプレー式とパドル式の選択が出来ます。 基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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【工程】 ○Centering ○loader ○Developing+Rinse ○Bake ○Bake ○Cool plate ○unloader ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。