最大12インチウエハに対応！汎用CAD対応の直接描画なので、フォトマスク製作にかかっていた費用と時間が不要になります！
◆直接描画でフォトリソの課題を解消 マスクレス露光装置は、DMD(Digital Micromirror Device)により、ワークに直接描画を行う装置です。 フォトマスクの製作に必要とされていた莫大な費用と多くの時間が不要になることで、従来のフォトリソグラフィプロセスにおける課題が解消され、半導体デバイスの試作がより身近なものとなります。 ◆選べる露光モード 2016年よりピクセル補完技術を応用したファイン露光モードを標準搭載しています。 標準露光モードに比べスループット時間は長くなりますが、斜線や曲線パターンのデータ再現性がきわめて高くなります。 ◇DMDとは DMDは、格子状に配列された数10万個の微小鏡のこと。この鏡面に光を照射し、一つひとつのミラーをON/OFF制御することで、汎用CADで作成した画像データをワークに投映します。 光源にはLED光を採用しているため、長寿命で経済的です。
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基本情報
装置仕様 装置寸法：W2,000×D1,300×H2,000mm 装置重量：本体1300kg 基 板：Max 300mmウェハ 露光方式：スキャン露光方式 光 源：LED（光源波長λ=385nm） 重ね合わせ精度：±0.5μm以内 露光分解能：L/S 0.5μm／L/S 0.1μm（ファイン露光モード使用時）
価格帯
納期
用途／実績例
■大学･研究機関向け 対象ワーク：ウェハ、フィルム等
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企業情報
1991 年9月、株式会社ピーエムティーは半導体製造装置の総合商社として創業しました。 その後、部品加工、金型の設計･製作を経て超精密軸制御技術を確立。 これを自社の強みとし、ナノステージシステムをはじめNC 微細加工機やマスクレス露光装置など様々な機械･装置に応用展開してきました。 現在ではライフサイエンス分野に特化した自動化システムや、製造現場の課題を解決するロボティクス事業にも着手し、業界分野の垣根を超えたモノづくりを続けています。 合言葉は、「ピーエムティーと、何創ろう」。 まずはお客様のご要望をお聞かせください。