一括カセットtoカセット移載
本機械は、φ200mmウェーハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。
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基本情報
・ウェーハをカセットに接触させず、25枚一括で持ち上げて移載します。 ・移動軸にメカストッパを設け、操作ミスによるウェーハ破損を防ぎます。
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用途／実績例
半導体業界よりご注文を頂いております。
企業情報
☆半導体関係専用サイト オープン！！ https://www.wafer-measurement-inspection.com/ 株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 また、電子部品加工機、自動車部品加工機の各様専用機も設計・製作・販売を行っております。 各種材料の厚さ測定等のデモ測定も承ります。