フォトルミネッセンス(PL)イメージング法を用いたSiC半導体評価装置
「SemiScope」は、1μｍ以下の分解能でフォトルミネッセンス(PL)画像を測定することができるPLイメージング装置です。 試料を移動させながらイメージング測定を行うタイリング機能を用いることで、約33億画素の解像度で6インチウェハ全面のPL画像を得ることができます。 SiCウェハの結晶欠陥を可視化。非接触・非破壊検査がPLイメージング法で短時間測定可能です。 【特徴】 ○SiC半導体評価装置 ○SiCウェハの結晶欠陥を可視化 ○非接触、非破壊検査 ○PLイメージング法のため短時間測定が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【ラインナップ】 ○高速PLイメージング装置 SemiScope PLI-SR →量産工程装置を目指し、フォトンデザインのPLイメージング技術と 高速化技術とを融合 ○PLイメージング装置 SemiScope PLI-200 →SiC評価用PLイメージング装置の標準モデル ○PLスペクトル・イメージング装置 SemiScope PLIS-200 →PLイメージング測定機能に加え、結晶欠陥部のスペクトルを 測定することができるSiC半導体用PLイメージング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社フォトンデザインは、フォトルミネッセンス装置、ラマン装置をはじめとする分光計測装置メーカとして、常に新しい技術を取り入れ、最高の性能を目指し、装置開発に取り組んでいます。経営の効率ばかりが優先される最近の傾向は、研究装置の分野にも及んでいます。市場性の高い研究装置が次々に製品化されるなかで、販売台数の少ないトップクオリティな研究装置では生産中止が目立ちます。しかし、未知の世界に挑む最先端の科学研究にとって重要な役割を果たす研究装置では、性能に妥協は許されないとフォトンデザインは考えます。分光計測装置メーカの使命として、常に最高の性能を求め、装置の開発を続けて参ります。
