メンテナンスフリー！ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源
『KFMD-1』は、ボートに材料を充填し、通電加熱により蒸着をする 簡易蒸着源です。 ボート(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選ばず、 既存の装置への増設に対応可能です。 熱輻射シールドなどを設置することで、基板や真空槽内部への ダメージを軽減することができます。 小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。 【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジICF070 ■ボートタイプで取扱が容易 ■定めた位置への蒸着が可能 ■メンテナンスフリー ■真空槽内部の汚染防止が可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■導入径：φ37 ■導入フランジサイズ：最小:ICF070 ■真空内長さ：150ｍｍ～(選択可) ■導入向き：上向き～水平(任意) ■蒸着向き：0°～90° ■ボート材質：Ta・Mo・W ■ボート容量：0.5cc ■最大ボート温度：Ta(Max1400℃)・Mo(Max1200℃) ■蒸着材料：LiF・MoO₃・In ■消費電力：60Ａ/600Ｗ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■蒸着 ■研究開発 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
北野精機の歴史は研究開発用精密機器の提供を通して、 常に最先端の研究分野に貢献し続けてきた軌跡でもあります。 1958年（昭和33年）11月 精密機器の設計・製造・販売会社として設立されて以来、 大学・官公庁の研究所をはじめ民間企業の基礎研究所に 向けた実験機器の開発・製造を手がけ、その優れた品質 と信頼性には高い評価をいただいています。 特に近年、新素材やナノテクノロジー、フラットパネル ディスプレー、高温超電導、太陽電池、原子力、宇宙開発 など産業分野に必要不可欠な超高真空・極低温技術に ついては、他社に先駆けていち早く取り組み、その実験 環境づくりに豊富な技術・ノウハウを蓄積し、高度な性能・ 機能を凝縮した機器の開発・提供に結び付けています。 北野精機では、つねにユーザーである研究者の方々と 密接に連携し、研究・開発目的を的確にサポートする 機器を設計・開発。 部品づくりから各種処理、組立、検査・テスト、装置立ち 上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質 の製品と良質な研究開発の実験環境を提供しています。