ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液洗浄装置！薬液によりブラシ洗浄との組合せにも対応です。
ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ4” 厚みについては応相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
この製品へのお問い合わせ
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社テクニカルフィットでは、お客様のご要望・ご予算に合わせ、各種洗浄装置、粒子・スペーサーの散布・分散装置、静電気除去装置、検査装置をご提案いたします。液晶・半導体・自動車・食品・医療関係など業種を問わず、ご相談ください。