ウェーハ上のはんだバンプの検査を自動で行うX線自動検査装置
『Six-3000』は、ウェーハ上のバンプを自動で 検査、判定を行うX線自動検査装置です。 ウェーハ内部のボイド（気泡）をX線を用いて透過し、 その透過画像からボイドの直径（面積）を求め基準値以上の ボイドについての良否を自動判定検査します。 X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には 高性能X線デジタルカメラを採用することで高解像度の画像を抽出でき、 高精度ボイド検査が可能です。 【特長】 ■高解像度の画像が抽出可能 ■高精度ボイド検査が可能 ■高速検査・微小ウェーハバンプ検査が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【検査内容】 ■バンプ直径測定 ■ボイド測定 ■バンプ高さ測定 ■バンプ形状検査 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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企業情報
i-Bit の i はintelligence（情報）、image（映像、画像）など、私たちが日ごろ受け取る情報を総称して i と表しました。 そして Bit は二進法で用いる数字。すなわち"0"と"1"でありコンピュータで処理する単位です。 私たちは i を受け取り Bit を用いて社会に貢献していこうと考えています。
