半導体製造に革新もたらすミニマルファブ！研究開発から生産まで担えるの半導体製造装置！
横河ソリューションサービスには、国家プロジェクト「ミニマルファブ技術研究組合」の発足当初から産総研つくばに常駐して技術を習得した「ミニマルを知り尽くしたエンジニア」が複数おります。世界で初めてミニマルファブを導入されたお客様を全面的にサポートしたのも私たちです。そんな私たちだからこそ、装置販売だけでなくファブをトータルでご提供いたします！ 2016年4月には横河電機武蔵野本社内に横河ミニマルアプリケーションラボをオープンしました。未来の半導体工場を見に来ませんか？ ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
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基本情報
＜導入前から導入後まで窓口ひとつで対応できるのは横河だけ＞ 装置選定(1) 窓口はどんな装置でも横河1本でOK！見積・使用・納期調整など全てお引き受けします。デモルームの見学、プロセスでものご相談も承ります。 装置選定(2) お客様のターゲットデバイスにあわせ最適な装置ラインナップをご提案！ミニマルファブもメガファブも、両方を知り尽くした横河ならではのソリューションをご提供します。 設置環境の構築(1) 設置環境に応じたユーティリティ設備や運用に合わせた最適なフロアレイアウトをご提案します。 設備環境の構築(2) 危険物や毒物の保管、取扱、安全設備に関するコンサルおよび、必要な機材の販売、施工にも対応致します。 立ち上げ 全ての作業の段取りを横河が管理しますので、お客様はお立会いいただくだけでOK！ 運用サポート お客様への運用アドバイスや各種トレーニング等もいたします。 アフターサポート 24時間365日、万全のアフターサービス体制！たくさんの種類の装置をお持ちでも、窓口は横河だけ！
価格帯
納期
用途／実績例
2016年4月には横河電機武蔵野本社内に横河ミニマルアプリケーションラボをオープンしました。未来の半導体工場をご案内いたします！ ※ラボのご利用は完全予約制となっております。 その他、カタログ情報など参照ください。
カタログ（3）
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企業情報
当社は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所（産総研）が主導する、次世代の半導体製造工場の実現を目指した国家プロジェクト「ミニマルファブ技術研究組合」に参画しています。ミニマルファブの、装置の製造を除いた、お客様の装置の購入から運用・メンテナンスに至るまでの様々なソリューションを提供しています。 2016年4月、東京都内でミニマルファブに触れていただける「横河ミニマルアプリケーションラボ」が本社構内にオープンいたしました。詳細はカタログページをご覧ください。
