独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置
『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、 気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の 前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的なプラズマ加工が可能（Φ0.5mm～） ■低残渣かつ高速加工を実現（10μm/mim） ■低出力のRF電源（最大出力50W未満） ■試料をステージで移動させた広範囲の加工が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■装置寸法：240mm(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量：20kg ■真空ポンプ：ドライポンプ（15L） ■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時)0.5~4mm ■対応可能ガス：CF4、N2、D.A、Ar、O2等 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■表面改質 ■半導体デバイスの絶縁膜除去 ■半導体デバイスの裏面加工 ■プラズマクリーニング ■各種材料のエッチング ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社三友製作所は設計から機械加工、組立調整まで、一貫した生産形態をもつ企業であり、特に、独自な技術を有する精密加工部門そして、ユニークな発想で自動化を提案するラボ・オートメーション部門は、お客様からも高い評価を受け続けております。 電線ケーブルの評価試験機、工業計器製品、自動車関連部品、医用・分析機器、そして、マイクロファブリケーション関連製品などさまざまな製品を扱っております。