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TOF-SIMSによる表面分析

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最終更新日:2025年06月26日

株式会社アイテス
株式会社アイテス
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TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。

■TOF-SIMS 3つの分析モード ・高分解能質量スペクトル ・深さ方向分析 ・表面の面分析

    分析機器・装置受託解析その他受託サービス
TOF-SIMSによる表面分析.png

TOF-SIMSによる表面分析

TOF-SIMSによる表面分析.png
TOF-SIMSによる表面分析.png
  • TOF-SIMSによる表面汚染・界面活性剤残渣の分析
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/ites/product/

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基本情報

・TOF-SIMSはパルス状の一次イオンを照射し  励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。 ・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり  質量の分離が出来ます。

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用途/実績例

・緑顔料中のフタロシアニングリーンの分子構造 ・薄膜a-Si太陽電池の深さ方向分析 ・Siウエハ表面汚染の面分析

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TOF-SIMS分析

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【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ

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ダイナミックSIMS

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化学分析 おまかせサービス

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当社で取り扱う『化学分析 おまかせサービス』をご紹介いたします。 製品上の異物やシミなどの成分分析を⾏う際、有機分析が適しているのか、 無機分析が適しているのか、また、有機・無機分析の中でもどの分析が好適 なのか、分析手法の選定についてお困りのお客様へ、一括サービスを提供。 分析装置はそれぞれ測定できる対象が異なるため、情報をもとに、 目的に合った手法を選ぶ必要があります。

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ダイナミックSIMS

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『ダイナミックSIMS』は、試料中に含まれる微量の全元素(H〜U)を ppmからppbの高感度で検出することができる二次イオン質量分析法です。 定性分析及び深さ方向分析ができ、加えて標準試料による高精度な定量分析が 可能。(当社の協力会社での分析実施) 最小ビーム径は約30um、材質によってさらにビーム径を落とすことが できます。

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株式会社アイテス

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アイテスは、日本アイ・ビー・エム野洲事業所の品質保証部門を母体として1993年に設立されました。 日本アイ・ビー・エム野洲事業所での最先端電子部品の不良解析・信頼性保証で培った技術力を基盤にして、半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える様々な商品、サービスを国内、海外のお客様へ提供してまいりました。

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