有機・無機問わず高いエッチング効果！
Siやカーボン膜のエッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪
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基本情報
出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量約 85Kg ガス系 マスフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流量計 ステージ寸法 φ200mm 電源 AC100V 50/60Hz 15A 真空ポンプ 135/160 ( リットル/min ) 操作方法 タッチパネルによる自動操作
価格帯
納期
用途／実績例
【表面改質】 ☆内容 ・表面改質/ドライ洗浄/親水性の向上/接着効果の改善/ 印刷・塗装の前処理/有機物質の除去/濡れ性の向上/細胞培養等・・・ ☆材料 金属・ガラス・樹脂・紛体・チューブ等 【エッチング】 ☆内容 ・ドライエッチングの受託加工(シリコン・ガラス・金属) 【成膜】 ☆内容 ・SiO2膜・TEOS膜の製膜 【実例】 ☆内容 ・ガラスの洗浄・接着前処理 ・LSIの洗浄・接着前処理 ・樹脂成型品の洗浄・接着前処理 ・太陽電池、燃料電池 の基板洗浄 ・有機EL 、デジタルサイネージ関連ディスプレイ、液晶基板の端子洗浄 ・ワイヤーボンディングの前処理 ・フィルムの洗浄・接着前処理 ・MEMSの洗浄等 ・メッキ前洗浄 ・紙への印刷前処理 ・半導体プレート洗浄 ・シリコンウェハーの洗浄 等・・・・
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企業情報
魁半導体は2002年9月に京都工芸繊維大学発のベンチャー企業として設立。プラズマ技術を用いた表面改質装置や堆積装置の販売をおこなっている。2010年に発売した粉体プラズマ装置は高い技術力が評価され『関西フロントランナー大賞』『中小企業技術賞』を受賞する。 全国の大学・産総研・大手メーカー・R&D部門で多数導入実績有り。 実物(デモ機)に触れて頂いてからの販売を提案します。 また、レンタル・リースにより、お客様のご負担を軽減したご使用方法も提案致します。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。