独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置
『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的なプラズマ加工が可能（Φ0.5mm～） ■低残渣かつ高速加工を実現（10μm/mim） ■低出力のRF電源（最大出力50W未満） ■試料をステージで移動させた広範囲の加工が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■装置寸法：240mm(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量：20kg ■真空ポンプ：ドライポンプ（15L） ■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時)0.5~4mm ■対応可能ガス：CF4、N2、D.A、Ar、O2等 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■表面改質 ■半導体デバイスの絶縁膜除去 ■半導体デバイスの裏面加工 ■プラズマクリーニング ■各種材料のエッチング ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ナラサキ産業株式会社「機能材料課」では、高機能材料受託加工を 手掛けております。 取扱い材料は「5つのカテゴリー」より １．セラミックス／ガラス ２．金属 ３．エンジニアリングプラスチックス ４．カーボン ５．表面処理 幅広く対応しており、当社に製作図面1枚頂ければ、完成加工品として様々な材料や表面処理をワンストップで提供させて頂きます。 汎用から特殊材料まで、高精度、微細、放電、レーザー加工や電子ビーム溶接、またコーティングや精密洗浄、ブラスト処理といった表面処理まで対応致します。 特に強みを発揮するのはセラミックスの高精度且つ短納期加工です。 従来数ヶ月要する納期を焼成済みの材料より機械加工する事でセラミックス短納期対応を実現。 ホトベールといったマシナブルセラミックス、またファインセラミックスであるアルミナ・ジルコニアだけでなく炭化珪素・窒化珪素・窒化アルミといった非酸化物セラミックスも含めたセラミックス全般に対応致します。海外製セラミックスでのコストダウン提案等、海外商材にも積極的に取り組んでおります。 数量1個からの試作開発案件から量産まで様々な受託加工に対応可能です。
