ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光を可能にするユニット
『裏面アライメントシステム(IRAS)』は、MPA、PLAに搭載する事により、 ウェハーの裏面をアライメントできるユニットです。 MPA、PLAを裏面露光装置として使用する為に製作。 新規で裏面露光装置のご購入を考えているユーザー様に適しています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【概要】 ■主要追加部品 ・マスクアライメント用CCDカメラ ・ウェハー裏面アライメント用近赤外線CCDカメラ ・画像解析用モニター＆パソコン ・裏面カメラユニットステージ ・その他 ■対応機種：MPA600Series、PLASeries ■設置期間：1.5週間 ■近赤外線仕様もあります ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社は、半導体製造装置のリユース及びリニューアルとその関連商材を 主たるビジネスとする企業です。 MPAサービスをはじめ、裏面アライメントシステム(IRAS)や PLAサービス、SEMサービス、WJサービスなどをご用意しております。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。