高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・アニール 多用途対応の量産型真空オーブン
8００ｍｍ□×8００ｍｍＨ／バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。 高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品 高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わせて小型からラインナップ。
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基本情報
６００ｍｍ□×６００ｍｍＨ／バッチの大量バッチ処理 炉内全面ヒーターの均一加熱 ドライポンプ＋ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系 高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応 基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能
価格情報
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納期
用途／実績例
粉体の乾燥・アニール 小型部品の脱ガス・アニール 電子デバイス塗布材乾燥・焼成 樹脂成型品の塗装後の乾燥・アニール セラミックスシート乾燥
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ポリイミドキュア装置 | ３００ｍｍ半導体ウェハのポリイミドのキュアに対応した、電子デバイス専用のキュア装置。真空置換後の低酸素濃度下にて均一加熱。 先端半導体生産ラインで実績豊富な性能と信頼性。 |
カタログ（5）
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企業情報
神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。 又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。