SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置
『A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応 大量生産用連続式常圧CVD装置です。 自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し 生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータの 安全にも配慮しました。 【特長】 ■高い生産性：毎時120枚の処理が可能 ■重金属汚染対策：ウェハ裏面からの金属汚染を防止 ■高性能：A63型ヘッドを採用し、良好な膜厚分布を実現 ■メンテナンス性の向上：短時間で安全にメンテナンスが可能 ■フットプリント：トレー枚数を最小化し装置面積の小型化に成功 ■安全性：インターロック、装置機構の好適化により高い安全性を確保 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■サイズ：W1500mm×D2850mm×H2000mm ■成膜速度：最大350nm/min ■温度：450℃まで ■ウェハサイズ：6inch以下 ■スループット：毎時120枚 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社天谷製作所は、1970年に横型バッチ式常圧CVD装置を開発・販売して以来、半導体製造用の成膜装置として使用される常圧CVD装置を中心に事業を展開してまいりました。 近年では、新しい分野への挑戦として、太陽電池製造用の高生産性常圧CVD装置を開発・販売しました。 今後も、新技術の開拓に取り組み、常圧ＣＶＤ装置のオンリーワン企業を目指します。
