生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現します。
自動酸・アルカリ洗浄装置 対応ワークサイズ φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能 ■オプションでオゾン水洗浄が可能 ■オプションでナノバブル洗浄が可能 当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます。（オンライン対応可） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください
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ダルトングループの活動は、 多様な分野との融合を通じて 社会や人々の生活を支えています。 身近な暮らしのあちこちに、 社会を形づくるさまざまな場所に、 数年後、数十年後、さらにその先の未来のために―― ダルトングループの製品・サービスが支える 価値創造のフィールドは実に多彩です。 高い技術力と想像力を携えて― 私たちは、常にお客様のニーズの一歩先を見つめ、 豊かな社会づくりに貢献しています。