高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現
硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成 硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。
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基本情報
独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備 自公転機構によるハイレート全面成膜機構 各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア
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用途／実績例
赤外センサモジュールカバーガラス
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ＡＰＩＧ－１０６０Ｄ型 | 独自開発の高密度プラズマガン型プラズマＣＶＤ装置により赤外線の透過率に優れたＤＬＣ膜を高い生産性で成膜。赤外線反射防止膜の少量生産から研究開発に対応。スパッタカソードもオプションで装備可能で多目的用途対応の高密度プラズマＣＶＤ装置 |
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企業情報
神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。 又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。