0.6umの微細描画が可能な高速マスクレスアライナー
マスクレスアライナー MLA150は、マスク不要の非接触レーザー露光装置です。卓越した使いやすさ、および高速性により、ラピッドプロトタイピング、少量から中量生産、および研究開発環境における理想的なレーザー直接描画方式の、マスクレス露光装置です。 2015年に初めてマスクレスアライナーシリーズが発表されて以来、革新的で最先端のマスクレステクノロジーが確立されました。MLA150は従来のマスクアライナーに代わる製品として位置づけられており、出荷台数は130台を超えています。
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基本情報
最小基板サイズ：5 mm x 5 mm 最大露光面積：6インチx 6インチ（オプションで8インチx 8インチ） 0.6μmまでの最小構造サイズ リアルタイムオートフォーカス（標準：空圧式、オプション：光学式） 前面と背面の位置合わせ（オプション：バックサイドアライメント機構） 高アスペクト比モード（超厚レジスト露光） 使いやすい操作ソフトウェア キーワード：レーザー露光装置、レーザー描画装置、直描装置、直接描画装置、マスクレス、微細加工
価格帯
5000万円 ~ 1億円
納期
用途／実績例
マイクロ光学、マイクロ流体、生物医学分野, MEMS, 半導体、FPD, センサー, MOEMS, 導波路, 材料評価・開発, ナノチューブ、グラフェン、マスク製造。
カタログ（4）
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企業情報
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社は、レーザー直接描画装置やマスク描画装置の開発と製造を行う独国ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニック社の日本法人です。日本国内にてレーザー直接描画装置の販売及び技術サービスを行っています。レーザー描画装置やマスクレスアライナーなどの製品を数多くラインナップしています。レーザーリソグラフィーのことなら、是非当社にご相談ください。
