3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください
株式会社片桐エンジニアリングが取り扱う、『ナノカーボン堆積装置』を ご紹介いたします。 当製品は、ナノカーボン材料を合成可能なCVD装置です。 「CND-050LP」をはじめ、大面積ナノカーボン堆積装置「LCND-200」や PNナノカーボン堆積装置「NCD-050W」をラインアップ。 用途に合わせてお選びいただけます。 【特長】 ■ナノカーボン材料を合成可能 ■3種類のラインアップ ■用途に合わせて選べる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様(抜粋)】 ＜ナノカーボン堆積装置(CND-050LP)＞ ■プラズマ源 ・水素ラジカル注入用：RF13.56MHz・1KW・MHC ・メインプラズマ用：RF13.56MHz・1kW・CCPシャワーヘッド ■チャンバー：SUS304、架台 ■基板ステージ：800℃、2インチ基板×1枚、上下ベローズ ＜大面積ナノカーボン堆積装置(LCND-200)＞ ■プラズマ源：RF13.56MHz・5kW・マルチホローCCPシャワーヘッド ■チャンバー：SUS304、架台 ■基板ステージ：800℃、8インチ基板×1枚 ＜PNナノカーボン堆積装置(NCD-050W)＞ ■プラズマ源 ・水素ラジカル注入用：マイクロ波2.45GHz・1KW・SWP ・メインプラズマ用：VHF100MHz・1kW・CCPシャワーヘッド ■チャンバー：SUS304、架台 ■基板ステージ：800℃、2インチ基板×1枚、上下ベローズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
KKEは平成三年創立以来、今日まで皆様方の御厚い御支援、御協力を賜り厚く御礼を申し上げます。創立以前は私自身が技術業務に専念しておりました。その当時の学んだ事を糧にKKEは皆様と共に育って参りました。特に規格商品を持たず真空技術分野の「開発、設計、製造」を中心に手掛け、時には「産、官、学」共に御協力させて戴き大変喜ばしい事と存じます。お客様個別の仕様内容に応じ「開発、設計、製造」に最後まで取り組む姿勢を持って御客様のニーズに対し適確な判断の下で今日まで進んで参りました。21世紀の最先端科学技術に対応できる技術、開発指向型の企業を目指し「物創り」で社会に貢献することによって皆様方と共に幸福となるように努力致します。今後ともKKEを宜しくお願い致します。
