元素同定を行うEELS分析により、物質の結合状態の比較が可能です!
当社では、分析解析・信頼性評価サービスなどを行っております。 EELS分析とEDS分析は、TEM試料に加速した電子を照射することで 元素同定を行う分析手法です。 「異なるカーボン膜」の事例では、状態分析が特長である EELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行いました。 EDS分析ではスペクトルの比較からBottom膜のみN,Oを微量に検出。 EELS分析では2つのSpectrumのショルダー形状が違うことから 有機膜に配合されているN,OとCの結合状態を比較することが可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【EELS分析とEDS分析との比較】 <EELS> ■分析に使用するパラメータ:エネルギー損失電子 ■エネルギー分解能:1eV以下 ■長所:状態分析軽元素分析(Li,B) ■短所:広範囲の元素を同時分析が困難 ■測定時間:5s ■TEM試料厚:約50nm以下 <EDS> ■分析に使用するパラメータ:特性X線 ■エネルギー分解能:100eV前後 ■長所:全元素についての分析 ■短所:近接するエネルギーを持つ元素のピーク分離が困難 ■測定時間:30s ■TEM試料厚:約300nm以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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アイテスは、日本アイ・ビー・エム野洲事業所の品質保証部門を母体として1993年に設立されました。 日本アイ・ビー・エム野洲事業所での最先端電子部品の不良解析・信頼性保証で培った技術力を基盤にして、半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える様々な商品、サービスを国内、海外のお客様へ提供してまいりました。