単一基板に数100条件の組成分布を形成。有効成膜エリアは1辺25mmの正三角形です
『CMS-3200』は、2元・3元のコンビナトリアル組成傾斜成膜に対応する 3元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置です。 有効エリアは1辺25mmの正三角形。2インチウエハを標準基板とするため、 パターン描画・エッチングなどのライン後工程に投入でき、成膜のみならず 解析までをハイスループット化できます。 【特長】 ■2元・3元のコンビナトリアル組成傾斜成膜に対応 ■有効成膜エリア：1辺25mmの正三角形 ■2インチ・マグネトロン・スパッタカソード3基搭載 ■RF・DC電源を各3組最大6基搭載可能 ■LabView によるレシピ編集と全自動コンビナトリアル成膜 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【基本仕様(一部)】 ■2”マトリクス用スパッタガン3基 ■強磁性体用スパッタ・カソード ■2”ウエハカセットロードロックシステム ■25mm/辺の3元コンビ試料の作成 ■3元組成傾斜成膜対応マスク・システム ■Co-sputtering成膜に対応 ■自動圧力制御 ■プロセスパラメーターロギング機能 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、国立研究開発法人・物質・材料研究機構(NIMS)発の認定ベンチャー として設立され、コンビナトリアル薄膜成膜技術を用いた 新機能性材料開発を行っています。 1つの試料基板上に全ての組成の組み合わせを持つコンビナトリアル・ ライブラリーを作成することによって、機能性材料の開発期間を 著しく短縮し、開発をHigh Troughput化します。