SUS316Lの表面に緻密な酸化クロム皮膜を形成！HF、HClに対しても優れた耐食性が得られます
「SPP=Super Passivation Process」は、ステンレスの表面改質により、 最表層に欠陥のない緻密なCr2O3膜を形成します。 フッ酸や塩酸などのハロゲンガスに対して優れた耐腐食性能が得られ、 真空特性も向上。ステンレスの表面を改質することにより、今までの ステンレスの常識とは違う、様々な現象が解明されてきています。 水素インフラや超高真空の分野においても期待される技術です。 【目的】 ■腐食対策 ■メタルコンタミ対策 ■低放出ガス ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【概要】 ■膜質：Cr2O3 ■膜厚：40Å ■耐熱温度：300℃ ■耐食性：HCl、HBr、HF、F2など ■効果例：メタルコンタミ低減 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■一次側配管 ■バルブ・MFC・レギュレータ等のパーツ類 ■チャンバー、チャンバー回りパーツ類 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社では、半導体製造工程におけるコンタミネーション制御に関する 各種ソリューション及びサービスを提供します。 ◆シリカコート；金属の表面が合成石英レベルの高純度SiO２になります。メタルフリーにより、メタルコンタミを防ぎます。 ◆SPP処理；SUS316Lの表面に緻密なCr2O3膜を形成し、HF、HCｌに対しても優れた耐食性が得られます ◆SPP-R処理；超撥水・撥油・低摺動の表面が得られます ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。