CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可！オーダーメイド製作実績多数あり！
ジャパンクリエイトが取り扱う『スパッタ装置』をご紹介します。 当社独自のスパッタカソードを搭載した「ロードロック式 スパッタリング装置」をはじめ、「多元スパッタリング装置」 「立体物用スパッタリング装置」をご用意。 オーダーメイドとして、薄膜MEMS用の超高温スパッタリング装置や、 研究開発用IBS装置、有機EL用GB付きスパッタリング装置などの 製作実績もございます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ロードロック式スパッタリング装置 特長】 ■ムービングマグネットにも対応し全面エロージョンが可能 ■当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載し基板温度900℃を実現 ■高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜が可能 ■リフトオフ等低温プロセスも対応可 ■トレイ搬送も対応可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■ロードロック式スパッタリング装置 ■多元スパッタリング装置 ■立体物用スパッタリング装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【オーダーメイド製作実績（抜粋）】 ■薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置 ■バッチ式多元スパッタリング装置 ■薄膜MEMS用バッチ式スパッタリング装置 ■研究開発用IBS装置 ■MEMS用複合成膜装置 ■多元複合スパッタリング装置 ■有機EL用GB付きスパッタリング装置 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
