高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。
Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績を有しております。 ■超高温ヒータ ・超高温（1500℃以上）での使用が可能 ・腐食性ガス雰囲気に耐性がある ・色々な形状にも対応でき、設計の自由度が高い ■その他機能部品 ・MOCVD、HVPEなどの高温プロセスに対応 ・客先仕様に応じての専用設計 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
■超高温ヒータ ・お客様のご要望に応じて設計、製作。 ・1ヶから対応致します。 ■その他機能部品 ・PBN、PG、TaCなどのコーティングをベースとし、専用設計、製作致します。 ・1ヶから対応致します。
価格帯
納期
用途／実績例
窒化物半導体のMOCVD、HVPE、結晶成長など
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企業情報
モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社は、高熱伝導ヒートシンク、ヒータ/静電チャック、セラミックス製品、耐腐食/耐熱コーティングの開発、製造、販売を行っています。また、石英製品やシリコーン製品なども多数取り扱っております。ご用命の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。
