Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に
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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントローラPACEを導入しませんか？
【MEMS圧力センサの校正検査工程の自動化に】 現在高需要の車載圧力センサ。ドラックの圧力コントローラPACEでエンド・ライン検査を効率化しませんか？試験を自動化することで生産コストが各段に削減できます。生産ラインの拡張の機会にぜひご相談ください。 ■複数チャンネルの圧力計測・校正に：圧力コントローラ PACE シリーズ ■圧力制御スピード：他社製品の最大5.5倍 ■ポータブルに使うなら：圧力計のDPI800、DPI705Eシリーズ ※イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、ご連絡させていただく場合がございますのでご了承ください。
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基本情報
■圧力コントローラPACE 5000 /6000 〇高精度〇高速応答〇長期安定性を兼ね備えた使いやすいタッチパネル方式。ダイナミック・レンジに対応。計測試験プログラムも簡単に設定できます。半導体のサブシステム、MEMSメーカー様でPACEを導入後、大幅に生産効率がUPされた実績多。 〇ゲージ圧力レンジ：2.5kPa～21MPa（負圧校正標準） 〇通信：RS232、USB、IEEE-488、SCPIほか（モデルにより異なります） 〇電源：AC90～130V、AC180～260V（47～63Hz） ■圧力インジケータ PACE 1000 生産ラインの圧力計測もこれ一台。最大３つ圧力値を同時表示！ ゲージ圧と大気圧を同時表示できる高精度の圧力インジケータです。外部センサーポートは標準２つ、最大３つ接続可能。画面上で再生可能なデータロギング（標準）。複数の圧力モニタが可能なので検査工程のコストダウンが可能です！ ○100 MPaまでの圧力レンジ ○0.005% FSまでの各種精度 ○0.01% rdg/年までの安定性 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
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用途／実績例
【PACE圧力コントローラ事例】 MEMS圧力センサ（車載用圧力センサ、医療用機器の圧力モジュール、半導体装置用圧力制御機器等）の圧力計測試験の自動化に多数実績あり。製造ラインの拡張時に導入されて、製造コスト、生産効率が各段に飛躍したとのお声をいただいております。 その他： 〇品質管理室の圧力基準に（重水式からの置き換え） 〇試験プログラム例：スイッチ試験、リーク試験、試験プログラム、バースト試験等 〇PACE5000はシングル、6000はデュアルチャンネルです 【PACE1000 圧力インジケータ事例】 温度調整機材、空調機器の生産ラインの圧力検査工程に導入、自動圧力調整の安定化と生産コストの削減を同時に実現できました。 その他： 〇水銀柱やアネロイド気圧計からの置換デジタル化に 〇複数の圧力モニタに 〇校正返却の簡便化（維持費の削減） 〇大気圧測定に 【半導体装置向け圧力センサ各種】 半導体装置、サブシステムの圧力計測から、マスフロー・コントローラ向けの高精度の圧力センサを提供できます。（総合カタログまたはページ内のリンクをご参照ください）
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企業情報
※お問い合わせの際は、ブランド名、製品名を明記ください。 当社ベーカーヒューズは世界120カ国以上で事業を展開する世界中のエネルギー産業にソリューションを提供するエネルギーテクノロジーカンパニーです。人々と地球にとってより安全で、よりクリーンで、より効率的なエネルギーの創出に取り組む企業を目指しています。 日本法人である日本ベーカーヒューズ（旧：GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ )は、ウェイゲート・テクノロジーズブランドの非破壊検査機器、パナメトリクスブランドの水分計、分析計、流量計、ドラックブランドの圧力計、圧力校正器、ロイターストークスブランドの放射線モニタリング用途のための高性能なガンマ線・中性子検出器などを提供しています。 ベーカーヒューズ・エナジージャパン（旧：GEエナジー・ジャパン）はベントリー・ネバダブランドの機器の振動計測、状態監視装置の販売、診断サービス、ネクサス・コントロールブランドのタービンおよびコンプレッサ制御プラットフォームと分散制御システム（DCS）やサイバーセキュリティを提供しています。