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クロマティックコンフォーカル技術、厚さ測定向け非接触式測定

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STIL(スティル)

最終更新日:2025年02月12日

マーポス株式会社
マーポス株式会社
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デリケートなワークを傷つけず、破壊検査なしで高品質なワークを生産可能。ワークや環境の変動に強い完全同期システムです。

クロマティックコンフォーカル測定技術を使用したセンサー及びコントローラー。 お客様のワークや環境にあわせて各種ご提供します。世界の自動車・半導体・ガラス業界などで利用されています。 <利点> - 柔らかい素材や透明でない素材の測定に適した非接触技術 (例. アルミロール、銅ロール、リチウムイオン電池セパレーター) - 5µmから層の厚さを測定可能 - インラインでの使用に適した広い測定範囲 - 高感度、高精度 (実際のアプリケーションにおける総厚さの再現性範囲は1µm以内) - 測定フォークまたはゲージング機器一式の提供可能 - Quick-SPCソフトウェアオプションにより、統計処理とデータ転送が可能 下記の課題をお持ちのお客様はぜひ、PDFダウンロードの上、ご相談ください。 - ワークや環境の変動 - 複数のセンサーを使用した同期 - 機械的位置合わせ(傾斜またはずれ) - 測定の詳細把握 - カスタマイズが必要な特別なアプリケーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    センサ
STIL_icon01.jpg

クロマティックコンフォーカル技術、厚さ測定向け非接触式測定

STIL_icon01.jpg
STIL_icon01.jpg ChromaticConfocal_00.jpg ChromaPoint_sensorhead_01.jpg Controller_02.jpg Camera_04.jpg R2R_03.jpg wafer_04.jpg
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  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/marposs/product/

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基本情報

【カタログ掲載内容】 ■ クロマティックコンフォーカル原理 ■ ChromaPoint(クロマポイント)センサーヘッド ■ ChromaPoint(クロマポイント)コントローラー ■ ChromaLine(クロマライン)センサーヘッド ■ ChromaLine(クロマライン)コントローラー ■ ChromaVision(クロマビジョン)カメラ ■ アプリケーション例(各種距離、厚さ測定、表面粗さ測定、品質管理) ■用語集 ■お問い合わせ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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非接触式センサー反射測定型コントローラー『NCG-R』

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クロマティックコンフォーカル技術、厚さ計測向け非接触式測定ソリューション『STIL』

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非接触式センサーインターフェロメトリックコントローラー『HORIZON』

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この製品に関するニュース(5)

SEMICON JAPAN 2025 出展のご案内

  • UPDATE
  • セミナー・イベント

弊社は2025年12月17日(水)より東京ビッグサイトで開催される 「SEMICON Japan 2025」 に出展いたします。(ブース番号:E4727) 本展示会では、日々進化を遂げる半導体製造プロセスの信頼性、半導体性能の向上に寄与する半導体産業専用アプリケーション及び非接触式測定器をご紹介します。 是非ブースへお立ち寄りの上、ご覧頂きたくご案内申し上げます。 <主な展示製品> ・ダイシング工程向けビジュアルブレード検査システム  ブレードの高速位置決め、加工中のブレードのチッピング検出と摩耗検出が可能 ・非接触式高精度薄膜測定装置(インターフェロメトリ技術)  1μm未満の極薄ウエハまで、インライン制御、最終検査、ラボ試験装置として利用可能 ・非接触式高精度表面形状測定装置(クロマティックコンフォーカル技術)  様々な素材や反射面など、あらゆるタイプの表面素材に対し高い分解能で測定 ・加工中ウェーハ厚さ制御向け接触/非接触式厚さ測定ゲージ(インターフェロメトリ技術)  ドライ/ウェット環境で、機械加工中のウェーハ厚さを精密に制御する接触型および非接触型ソリューション

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【オンラインセミナー】最先端の半導体製品実現への解決策!ナノレベルの厚さ測定と形状検査の新提案 (3月12日)

  • セミナー・イベント

オンラインセミナーを下記のとおり開催いたします。 進化を続ける半導体業界において、現在、微細化、集積化が進む最先端の「次世代半導体」は特に注目を浴びています。それとともに、最先端の半導体製造工程ではキズ・コンタミ等のダメージを与えず、厚さコントロール、形状測定を行うことはもとより、精密で正確な測定技術がさらに必要とされています。 本セミナーでは、最先端半導体製品を実現する解決策として、接触式・非接触式センサーを用いた厚さ測定のための新アプリケーション「P3CF」をはじめ、非接触式センサーを用いたナノレベルの厚さ測定、表面形状測定(トポグラフィー、反りなど)などの事例を含めてご紹介いたします。 日時: 2024年3月12日(火)14:00~15:00 講師: マーポス株式会社 営業開発部セミコンダクターインダストリアルマネージャー このような方におすすめ: ・半導体製造に従事されているお客様 ・ウェハーの厚み測定に課題をお持ちのお客様 ・半導体製造プロセスにおいて、表面形状や寸法測定での課題をお持ちのお客様 申し込み方法: 下記、申し込みフォームよりご登録ください。

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Nepcon Japan

半導体・センサ パッケージング展(ネプコンジャパン)出展のご案内

  • セミナー・イベント

弊社は2024年1月24 日(水)より東京ビッグサイトで開催される「半導体・センサ パッケージング展(ネプコンジャパン)」 へ出展いたします。(ブース番号:E31-15) 本展示会では、本展示会では、日々進化を遂げる半導体製造プロセスの信頼性、半導体性能の向上に寄与する半導体産業専用アプリケーション及び非接触式測定器をご紹介いたします。 ぜひ弊社ブースにお立ち寄りの上、ご覧いただきたくご案内申し上げます。 展示製品: ・非接触式厚さ測定ゲージ(インターフェロメトリ技術) ・非接触式距離/厚さ/膜厚測定器(クロマティックコンフォーカル技術) 下記URL より、入場用バッジの登録を行い、入場用バッジを事前にカラー印刷出力の上、会場にお越しください。* https://www.nepconjapan.jp/tokyo/ja-jp/register.html?code=0916133079345892-04F *来場は「事前登録制」です。

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オートモーティブワールド秋

EV・HV・FCV技術展 出展のお知らせ

  • セミナー・イベント

弊社は、2023年9月13日(水)より幕張メッセで開催される 「第2回オートモーティブワールド秋 - EV・HV・FCV技術展」 に出展いたします。(ブース番号:5-34) 本展示会では、国内初展示となる「電極材向け超音波式坪量測定システム」を中心に、EV 生産現場の最新測定検査技術をご紹介いたします。ぜひ弊社のブースにお立ち寄りの上、ご覧頂きたくご案内申し上げます。 展示製品: ・電極材向け超音波式坪量測定システム ・電極材向け距離/厚さ非接触式測定器 ・プレス加工工程モニタリングシステム ・電気モーター機能テストシステム ほか

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マーポス株式会社

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マーポス株式会社は、世界のものづくりのパートナーを目指すイタリアのマーポスグループの日本法人として1970年に設立されました。 製造工程における機械加工中、加工後に使用する精密測定、検査及びプロセス管理システムを国内50年以上にわたりご提供しています。 ICE(内燃機関車)およびEV(電気自動車)ともに大手自動車メーカーのメインサプライヤーであり、半導体、航空宇宙、医療分野、エネルギー、家電業界へもサービスを展開しています。 お客様の規模や業種にかかわらず、品質向上、合理化、フレキシブル化、生産性向上のためにマーポスの技術とノウハウをもって果敢に貢献しつづけます。 さらに、マーポスの企業理念に則りトータル・クオリティの向上を追い求め、ISO 9001:2015の認証を受け、日本での設計、製造、組立も行っています。 国内に6ヶ所、海外に2ヶ所の拠点があり、地域のお客様に密接したサービスを提供しています。

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