ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！
8"工程用Pishowシリーズ： ・Pishow： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能 ・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能； pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制御； 超低出力工程に対応 ・Pishow D： DRIE技術をベースに、Si、SiCの深掘りに対応； ガスの切り替え速度＜1s； BOSOH工程に対応可能
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基本情報
量産機種では、12"工程用Herent, Chimeraシリーズ、8"工程用Kessel Pishow、Terbank Pishowシリーズもあります
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
半導体、金属、ハードマスクなど材料のエッチング
詳細情報
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Pishow型装置
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Pishow A型装置
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Pishow D型装置
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Kessel Pishow型装置
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企業情報
日星産業株式会社は、1947年に設立し、東京都中央区に本社を構え、創業以来、化学品をベースに幅広い専門商社として事業を展開しております。また、生活と産業を支える商品やハイテク商品から、保険、不動産などまで幅広い商品を取り扱っている会社です。