国内最大級の測定範囲をnm精度で測定する干渉計、油静圧案内と精密加工システムを持つ超精密平面研削盤導入により製品の高精度化を実現
「Zygoレーザー干渉計」「超精密平面研削盤」の新たな導入により、セラミックス部品や金属セラミックス複合材料（ＭＭＣ）部品を、より高精度でお届けできるようになりました。”半導体”や”宇宙”といった先端分野の高度な要求にもお応えいたします。豊富なラインナップより最適なソリューションを提供いたします。まずはご相談ください。 ■レーザー干渉計：国内最大級の 450mm x 1,000mm の面をnm精度で評価 ■超精密平面研削盤：超高精度(1μｍ以下)×自在な形状加工（真直、平面、凹凸など）
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基本情報
【新規導入設備スペック】 レーザー干渉計 ・カメラ画素数：1,200x1,200画素 ・波長λ：633nm ・再現性：0.06nm,λ/10,000（2δ） ・測定レンジTF：450mm ・測定レンジRF：1,000mm 超精密平面研削盤 ・テーブル作業面：2,000x600mm ・ストローク：X：2,600mm Y：625mm Z：720mm
価格帯
納期
用途／実績例
＜半導体検査装置/ステージ部品＞ ●実績例1【サイズ】690x45mm 【材質】SS701（金属セラミックス複合材料）【平面度】0.543μm＊ ●実績例2【サイズ】918x60mm 【材質】SS701（金属セラミックス複合材料）【平面度】0.745μm＊ ＜半導体製造装置/真空吸着チャック＞ 【ピンチャック部分の面精度】全面PV 0.209μm＊ ＊Zygoレーザー干渉計にて評価
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企業情報
当社は、セラミックの将来性にいち早く着目した総合エンジニアリング会社の日揮株式会社と､宮城県ならびに地元経済界により昭和５９年に第３セクターとして設立されました｡現在は､日揮ホールディングス株式会社の100％出資会社です。 セラミックスの基礎・応用研究、製品の用途開発ならびに製造・販売に積極的に取り組み、高周波用セラミックス基板・回路部品、産業機械用セラミックス部品ならびに金属セラミックス複合材料（MMC）の試作・開発など、独自の技術と製品で各種先端産業の多様なニーズにお応えしております。