SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能！
世界トップシェアを誇る川崎重工の『ウェハ搬送ロボット』は、独自の駆動機構により、 高精度・高剛性な動作を実現した製品です。 独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現した 「NTJシリーズ」や、テレスコピック機構を採用し、低位置への パスラインと高位置への搬送を両立した「TTJシリーズ」をご用意。 また、走行装置無しで4FOUP装置に対応する「NTHシリーズ」や 省スペースでの設置が可能な「NXシリーズ」もございます。 【特長】 ■独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現 ■SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでの EFEMに走行装置無しで対応が可能 ■リングフレームや基板搬送にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ソフトウェアの特長】 ■K-Fast ・動作検討を容易に実現するソフトウェアでロボット導入をサポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
川崎重工は昭和44年（1969年）に国産初の産業用ロボットの生産を開始して以来、 リーディングカンパニーとして自動車産業をはじめ国内外の産業の発展にお客様と共に貢献してきました。 産業用ロボットメーカーのパイオニアとして、その50年以上の歴史で培った技術と経験を基に、 自動車業界や電機・電子業界をはじめとするさまざまな業界向けに、多数の高品質・高性能のカワサキロボットを開発・供給しています。 自動化や省力化、生産性や品質の向上、作業環境改善など、お客様のニーズにお応えできるソリューションを提案いたします。