スラリー＆バックグラインダー廃液の産業廃棄物処理に高額費用でお困りなら小型機～大型機まで電子技研の廃液処理システムで無駄を改善！
廃液の砥粒を回収する設備で分離した透過液をご要望に合わせて再利用する事が可能です。 又、ヒーター等の加熱が無いことでランニングコストを低減します。 メンテナンスにつきましても楽に洗浄が出来て保全人員の苦労がありません。 ＜特長＞ ★ 半導体用のスラリーやバックグラインダーなどの研磨廃液を希釈廃液濃度により1/10から1/100まで濃縮して減容します。 ★ 膜を透過した液はご要望により中和後に廃水可能な放流水や市水、或いは一次純水相当まで処理する事が可能です。 ★ 廃液量により3種の機種を揃えています。 ★ メンテナンス回数を削減できる自動洗浄機能や遠隔監視などのオプションも豊富です。 ★ コンパクト設計なので既存工場においても設置場所を選びません。 ★ 加熱処理を行わず主にポンプ運転のみでランニングコストの削減が可能です。
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基本情報
処理量：1～200m3/日 廃液種類：スラリー廃液／ウェハ研磨廃液 透過液排出処理：放流／市水／純水 メンテナンス：全自動／手動 遠隔運転監視：有／無 濃縮廃液：スラッジ／高濃縮液
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体デバイス製造工程でのスラリー廃液/ウエハ研磨廃液の回収処理
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企業情報
プラズマ・真空関連装置を中心に、洗浄装置、マテハン他、多分野において、多種多様なニーズに対応します。自社製品以外でも、OEM等、装置製造受託もフレキシブルに対応します。 プラズマ処理については、電子、医療他の多分野において、他企業や大学との共同研究開発を実施。受託処理のみも受付中。 設計等メーカーポジションを活かし、工場内の設備保守委託や装置メーカー様からの保守メンテナンス委託、既存設備の移設、中古設備リファブまで、自他社製問わず各種装置の保守メンテナンスをお請けします。