半導体の強度検査・表面検査・環境試験など様々なアプリケーションノートをご紹介
数百の工程を必要とする半導体の炭化ケイ素ウエハーは、金属のコーティングを施されます。 この金属コーティングの接着強度、コーティングと基材との相性などにより様々なトラブルの原因となり得ます。 米国カリフォルニア州に本社をおくナノビア社は研究開発、品質管理で半導体の検査に関わってきました。 ここではナノビアのインデンターと呼ばれる機械式試験機を取り上げ、実際のウエハーのコーティングの試験でわかる項目や、高温のアプリケーション、ポリマーのコーティングなどの試験結果のアプリケーションノートを紹介します。
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基本情報
ウエハーの金属コートの機械強度の検証では、圧痕試験、スクラッチ試験、往復スクラッチ試験などで試験いただける内容をご紹介します。 シリコンウエファーへの微小ひっかき試験では、ポリマーコーティングの接着破壊、凝集破壊、臨界負荷などについて考察しています。 多層薄膜スクラッチ耐性試験では、多層皮膜の接着破壊、凝集破壊、そして基材への影響などについて考察しています。 自己洗浄ガラスコートの摩擦評価では、キムワイプをつけた湿式及び乾式の圧子により摩擦挙動を評価しています。 高温でのアーク往復試験では、高温下でのトライボメーターでのスクラッチ試験、特に直線運動との違いなどについて考察しています。この研究では８００℃で試験していますが、装置は実測1,100℃まで対応しています。 ぜひ、研究開発にお役立てください。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体の強度検査・表面検査・環境試験など
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企業情報
弊社では、世界トップクラスの企業が導入している製品を取り扱っております。日本の製品には見られない最先端の技術が採用され、製造や開発の現場で合理化の促進やコストダウンを可能にし、導入された企業様へ必ずメリットをもたらす製品です。また弊社では海外製品でも国産メーカークラスの迅速なサポートで対応させて頂いております。 ◎動的粘弾性測定装置 ◎応力緩和測定装置 ◎落錘式衝撃試験機 ◎多彩色光3光学プロファイラー ◎ナノ/マイクロインデンター ◎トライボメーター ◎ポリマー用水分計 ◎溶融物性材料開発機器ツインキャピラリーレオメーター ◎流動解析ソフト ◎成形解析ソフト ◎超精密フィーダー ◎質量式定量フィーダー ◎自動調整 重量式ブレンダー ◎ポリマー用除湿乾燥機 ◎カラースペクトロメーター ◎成形サイクル短縮機器 ◎ゴム測定関連機器 動的測定+加硫試験機 レオメーター カーボン分散計 ムーニー粘度計 硬さ・密度計 密度・比重計 未加硫ゴム用かさ比重計 硬度計 耐久・疲労試験機 リバウンドテスター 摩耗試験機 ◎バルブ総合メーカー